小型単ターゲットマグネトロンスパッタリングめっき装置

ネゴシエーション可能更新08/04

モデル

メーカーの性質: 生産者

製品カテゴリー

原産地

オンライン相談

概要

簡単な紹介：小型単ターゲットマグネトロンスパッタリングめっき装置は当社が自主開発した高価格比マグネトロンスパッタリングめっき装置であり、小型化、標準化の特徴を有する。マグネトロンターゲットは1インチ、2インチから選択でき、お客様はめっきされた基板の大きさに応じて自主的に選択することができます

製品詳細

詳細：

小型単ターゲットマグネトロンスパッタリングめっき装置は当社が自主開発した高価格比マグネトロンスパッタリングめっき装置であり、小型化、標準化の特徴がある。マグネトロンターゲットは1インチ、2インチから選択でき、お客様はめっきされた基板の大きさに応じて自主的に選択することができます。配電源は150 W直流電源であり、金属スパッタリングめっきに用いることができる。コーティング装置には通気口があり、保護ガスを通すことができ、顧客が混合ガスを通す必要があれば、従業員に連絡して高精度品質流量計を自分で配置して実験需要を満たすことができる。計器は先進的なターボ分子ポンプ群を標準装備し、限界真空は1.0 E-5 Paに達することができ、同時に他のタイプの分子ポンプを選択購入することができる。

小型単ターゲットマグネトロンスパッタリングめっき装置適用範囲：

この装置は単層強誘電体薄膜、導電性薄膜、合金薄膜などの製造に用いることができる。この単ターゲットマグネトロンスパッタリング膜めっき装置は同類の設備と比べ、小型化設計を経て、高度に集積され、体積が小さく、デスクトップに置いて使用することができ、実験室で材料薄膜を製造する理想的な設備である。

小型単ターゲットマグネトロンスパッタリングめっき装置技術パラメータ：

小型単ターゲットマグネトロンスパッタリングめっき装置
サンプルテーブル	寸法すんぽう	φ138mm	温度制御精度	±1℃
サンプルテーブル	かねつおんど	*高さ500℃	かいてんそくど	1-20rpm調整可能
マグネトロンスパッタリングヘッド	数量	2” x1（1”,2”オプション）	水冷機仕様	10L/min流速の循環水冷機
マグネトロンスパッタリングヘッド	れいきゃくほうしき	すいれい
しんくうキャビティ	キャビティ寸法	φ180mm × 215mm	ウィンドウを見る	全方向透明
しんくうキャビティ	キャビティ材料	高純度石英	オープンモード	トップカバー取り外し式
しんくうシステム	製品型番	CY-GZK103-A	くうきぬきつぎて	KF40
	ぶんしポンプ	CY-600	排気ポート	KF16
	ぜんきょくポンプ	ロータポンプ	しんくうそくてい	ふくごうしんくうけい
	げんかいしんくう	1.0E-5Pa	電力供給電源	AC;220V 50/60Hz
	抽気速度	分子ポンプ：600L/S ロータポンプ：1.1L/S 総合抽気性能：20分真空度：1.0E-3Pa
電源構成	数量	ちょくりゅうでんげん×1	*大出力	150W
その他	給電電圧	AC220V,50Hz	マシン全体の寸法	500mm × 350mm × 400mm
	せいきしゅつりょく	1.7 KW（真空ポンプユニット1.5 KW＋本機0.2 KW）	マシン全体の重量	30kg

同類製品の推奨