高出力直流マグネトロンスパッタリングめっき装置

ネゴシエーション可能更新08/04

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概要

簡単な紹介：高出力直流マグネトロンスパッタリングめっき機は高出力デスクトップマグネトロンプラズマスパッタリングめっき機で、水冷2インチターゲットヘッド、冷水機と回転可能なサンプル棚を持っている。高出力直流マグネトロンスパッタリングコーティング装置は、Zn、Al、Ti、炭素光膜を含む直径4インチのすべての金属薄膜をコーティングするために設計されており、価格は合理的である。すぐに使用できるようにAlターゲットが含まれています。

製品詳細

詳細：

高出力直流マグネトロンスパッタリングコーティング装置の製品内容：

高出力直流マグネトロンスパッタリングコーティング装置は、2インチ水冷ターゲットヘッドと回転可能なサンプルテーブルを含む。水冷ターゲットヘッドは、めっき後のサンプル表面がめっき温度が高すぎて変形しないようにし、サンプルを損傷することもないようにする、試料台は回転可能であり、試料を回転させながらメッキしてメッキ後の試料表面膜後を均一にすることができる。設備の外形は小さく、性価比は高く、各種金属薄膜を作製する理想的なめっき設備であり、各種金属ターゲット材と真空ポンプの組み合わせ設備を選択して使用することができる。

高出力直流マグネトロンスパッタリングコーティング装置の技術仕様：

にゅうりょくでんあつ	220 C 50/60Hz ,使用1000 W変圧器（15 Aヒューズ110 V電源装置
しゅつりょくでんりょく	1600 VDC 250 W 150 mA max. 内部オーバーフロー保護(>150 mA)
しりょうしつ	石英ガラス管, 165 mm外径×150 mm内径×250 mm高さ
スパッタヘッドとサンプルテーブル	含める2'水冷ジャケット付きフレキシブルマグネトロンスパッタリングヘッド。直径50 mmのステンレス鋼サンプル台は0-5 RPM範囲内で回転します。手動で操作する遮蔽板を使用してターゲットを保護します。スパッタリングヘッドホルダは、非動作時にスパッタリングヘッドを保持するために使用することができる。スパッタヘッドとサンプルテーブルとの間の距離は、60-100mm間で調整します。 Maxコーティング面積: 4'ちょつけいmax. 1つ空冷循環冷水ユニット10 L / min冷却スパッタヘッドを含む流量。
コントロールパネル	6“カラータッチパネルコントロールパネル、PLC統合、操作性すべてのパラメータ監視と制御のパネル：真空、電流。
きょくげんしんくうあつ	組み込みKF25真空ポートこのシステムには圧力調整器付きのArガス・タンク（含まない）使用＃シヨウ＃Au、Ag、Pt、Cu、MoターゲットVane真空ポンプ（含まない）<1.0E-2 Torr（空気に弱い）ターボ分子ポンプ（含まない）<1.0E-5 Torr使用＃シヨウ＃Al、Mg、Li、Lr、Ti、Znターゲット（空気に敏感）連続吸引と焼成により、zui低真空到達可能<4.0E-6頼む
雰囲気	ニードルバルブを取り付け、Arガス入口でより良いプラズマコーティングを実現このシステムには圧力調整器付きのArガスタンク（含まない）
ターゲット	を含む2インチ銅ターゲットはテスト用で、目標サイズ：2インチ直径×2.5mm。コーティングすることもできますAg，Al，Cr，Ni，Pt，Ti，Sn，Li，Mgなどほとんどの種類の金属材料があります。警告：本機はアルミニウム、クロム、ニッケルターゲットをコーティングすることができますを選択しますが、使用する前に推奨コーティング方法を確認してください。使用してくださいRFプラズママグネトロンスパッタリングによるアルミナ被覆
いったいすんぽう	L 440 mm×W 330 mm × H 290 mm
ネットウェイト	20 kg
アフターサービス	出荷後、CYKY1年間の無料アフターサービスを提供し、サービス方式は電話指導、ビデオ指導、メール指導、部品郵送などの遠隔技術サポートに限られている。オンサイトサービスを派遣する必要がある場合、お客様はサービススタッフの出張費と出張中の給料を支払う必要があります。

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