コンパクト直流マグネトロンスパッタリングめっき装置

ネゴシエーション可能更新08/04

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概要

簡単な紹介：小型直流マグネトロンスパッタリングめっき機はデスクトップマグネトロンプラズマスパッタリングめっき機で、2インチターゲットヘッドを持ち、高さ調整可能なサンプルラックである。特にSEM試料を被覆する導電性金膜に適している。小型直流マグネトロンスパッタリングめっき装置は、金、白金、白銀などの金属コーティングのために設計された小型プラズマスパッタリングめっき機である。2インチゴールドターゲット（4 N）が含まれています。

製品詳細

詳細：

小型直流マグネトロンスパッタリングコーティング装置の応用分野：

小型直流マグネトロンスパッタリングめっき装置の設計は主にいくつかの金属薄膜を作製し、製膜面積は4インチに達することができる。設備の外形は小さく、性価比は高く、各種金属薄膜を作製する理想的なめっき設備であり、各種金属ターゲット材と真空ポンプの組み合わせ設備を選択して使用することができる。

小型直流マグネトロンスパッタリングコーティング装置の技術仕様：

特徴	1.SEMサンプルに導電性金膜をコーティングするために設計されている。 2.コンパクトプラズマスパッタリングコーティング機は、金、白金、銀などの金属コーティングのために設計されている。 3.2”金（4 N）ターゲットを含む。
にゅうりょくでんあつ	220 VAC 50/60Hz, 200W 1000 W未満（真空ポンプ電力を含む） 1000 W変圧器（15 Aヒューズ）を使用して110 VAC電源を得ることができます。
しゅつりょくでんあつ	500 VDC
スパッタ電流	0-50 mA（max）調整可能スパッタ電流デジタル電流計（mA）オーバフロー保護
スパッタ時間	1～120秒で調整可能
しりょうしつ	石英ガラス管，165
mm外径×150 mm内径×150 mm高さ	サンプルテーブル
2'直径、高さ調整可能、サンプルからターゲットまで30-80 mm	スパッタヘッド
2′マグネトロンスパッタリングヘッド。ターゲットを保護するための手動操作の遮蔽板	しんくうあつりょくデジタル真空圧力計（Pa） KF 25真空ポンプコネクタ
メカニカルポンプの限界真空圧力は1であり、ポンプは含まれていない。	にゅうりょくガス不活性ガスボンベを接続するための1/4世偉ロック型継ぎ手を取り付けます。
フロントパネルには入力ガスを調整するための計量バルブがあります。	ターゲットざいりょう直径50 mm×0.12 mmの金ターゲットを含む 4 N純度金箔： 50 mm（2インチ）直径x 0.12 mm（被覆装置に組み込みプリインストール）オプションターゲット金ターゲット（50 mm直径×0.12
mm、4 N純度）	プラチナターゲット（50 mm直径×0.12 mm、4 N純度）銀ターゲット（50 mm直径×0.5 mm、4 N純度）
このモデルは金、銀、白金をコーティングするのに適している。また、エネルギーが低いため、Al、Mg、Znまたは炭素ターゲットなどの軽金属材料のコーティングには適していない。私たちの高出力直流/無線周波マグネトロンスパッタリングコーティング機または熱蒸発コーティング機を考えてください。	製品のサイズと重量

L 460mm×W 330 mm×H 520 mm

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