マグネトロンスパッタリング/真空蒸発複合型めっき膜を設ける..

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簡単な紹介：マグネトロンスパッタリング/真空蒸発複合型めっき装置はマグネトロンスパッタリング技術と真空蒸発技術を同一のめっき装置に結合し、マグネトロンスパッタリング陰極グロー放電を利用してターゲット原子をスパッタリングし、基板上に部分的に分離堆積して成膜すると同時に、真空中で電気抵抗加熱を利用して金属めっき材料を溶融し、気化させて基板上に再堆積させて成膜することができる。設備の用途と柔軟性を高めた。この装置は携帯電話ケースなどのプラスチック表面の金属化に応用され、非導電膜と電磁遮蔽膜の堆積に応用されている。

製品詳細

詳細：

マグネトロンスパッタリング/真空蒸発複合型めっき装置はマグネトロンスパッタリング技術と真空蒸発技術を同一のめっき装置に結合し、マグネトロンスパッタリング陰極グロー放電を利用してターゲット原子をスパッタリングし、基材上に部分的に離型堆積して成膜すると同時に、真空中で抵抗加熱を利用して金属めっき材料を溶融し、気化させて基材上に再堆積させて成膜することができる。設備の用途と柔軟性を高めた。この装置は携帯電話ケースなどのプラスチック表面の金属化に応用され、非導電膜と電磁遮蔽膜の堆積に応用されている。

マグネトロンスパッタリング/真空蒸発複合型めっき装置はプラズマ処理装置、高効率マグネトロンスパッタリング陰極と抵抗蒸発装置などを配置し、装置の堆積速度が速く、めっき層の付着力が良く、めっき層が繊細で緻密で、表面の光沢度が高く、均一性の一致性が良好である、同機はめっき技術の全自動化制御を実現し、積載量が大きく、仕事が信頼でき、合格率が高く、生産コストが低く、環境に優しい。この設備は主にコンピュータケース、携帯電話ケース、家庭電器などの業界に広く応用され、金属膜、合金膜、複合膜層、透明（半透明）膜、非導電膜、電磁遮蔽膜などをめっきすることができる。

マグネトロンスパッタリング/真空蒸発複合型めっき装置の技術パラメータ：

製品型番		マグネトロンスパッタリング/しんくうじょうはつはっせいふくごうがためっきそうちCY-MSE300S-DC
サンプルテーブル		サンプルテーブルサイズ	φ185mm
		温度制御精度	±1℃
		かいてんそくど	1-20rpm調整可能
		スパッタ電流	2~20mA
		スパッタ電圧	1000V
		じょうはつげん	タングステンバスケット
		*高温	1700℃
		せいみつせいぎょおんど	設定可能30段昇降温プログラム、温度制御精度は+/-1℃
しんくうキャビティ		キャビティ寸法	φ300mm × 300mm
		ウィンドウを見る	φ100mm
		キャビティ材料	ステンレス鋼
		オープンモード	トップオープン
膜厚モニタ	監視コンポーネント	電源装置	DC5V（±10%)，*大電流400mA
		周波数分解能	±0.03Hz
		膜厚分解能	0.0136Å（アルミニウム）
		膜厚精度	±0.5%、プロセス条件、特にセンサの位置、材料応力、温度、密度に依存する
		そくていそくど	100ms-1s/サブ、設定可能
		測定範囲	500000Å（アルミニウム）
		ひょうじゅんセンサけっしょう	6MHz
		コンピュータインタフェース	RS-232/485シリアルインタフェース（ボーレート1200、2400、4800、9600、19200、38400設定可能、データビット：8、ストップビット：1、チェック：なし）
		アナログ出力	8ビット解像度、PWMパルス幅変調出力（コレクタ開放または内部5V出力）
		作業環境	おんど0-50℃、湿度5%-85%RHあ、凝縮水滴があってはならない
	ディスプレイ	入力電源	AC 220V±10%
		出力電源	DC 5V 3A
		ディスプレイ	12×2デジタル管とLED
		通信ポート	RS-485（ボーレート1200、2400、4800、9600、19200、38400設定可能、データビット：8ビット、ストップビット：1ビット、パリティ：なし）
	プローブ	適用ウェハ周波数	6MHz
		適用ウェハサイズ	Φ14mm
		取り付けフランジ	CF35
		れいきゃくすいかん	Φ3mm、長さ300mm、500mm、1000mm
		れいきゃくすいあつ	<0.3MPa
		エアダンパダクト	Φ3mm
		やきつけおんど	通水状態<200℃、非通水状態フランジ<100℃
		電気インタフェース	BCNコンセント
マスフローメータ		2道、レンジ100sccm；100sccm（お客様のニーズに合わせてマルチプレクサをカスタマイズ可能）
しんくうシステム		製品型番	CY-GZK103-A
		くうきぬきつぎて	KF40
		ぶんしポンプ	CY-600
		排気ポート	KF16
		ぜんきょくポンプ	ロータポンプ
		しんくうそくてい	ふくごうしんくうけい
		げんかいしんくう	1.0E-5Pa
		電力供給電源	AC;220V 50/60Hz
		抽気速度	分子ポンプ：600L/S ロータポンプ：1.1L/S 総合抽気性能：20分真空度：1.0E-3Pa
オプション部品		金、インジウム、銀、白金などの各種ターゲット
品質保証		1年間の保証、生涯のテクニカルサポート。

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