- メール
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電話番号
13806216898
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アドレス
蘇州工業園区唯亭鎮通和路66号
製品カテゴリー
蘇州天弘レーザー株式会社
概要
この装置は主にGPPウエハに対して開発された自動クラック装置であり、自動上下材料、Z軸圧力誘導、視覚角度矯正、二枚検査、自動液体噴射機能を搭載する。
製品詳細
製品特徴：
»この装置は主にGPPウエハに対して開発された自動クラック装置である。自動上下材料、Z軸圧力誘導、視覚角度矯正、二枚検査、自動噴液機能を搭載する、
»この設備は機械的良率が高く、破片の効率が速い、
»全中国語操作インタフェース、操作が直感的で、簡易で、インタフェースが良好である、
»プロセスパラメータは呼び出しを保存でき、操作が簡単である、
»圧力数値誘導、グラフ表示可能、
»自動排液システム。
仕様パラメータ：
| 技術仕様 | ウェハクラックマシン |
| かこうそくど | 100-120pcs/H |
| 運用分野 | ウェハ半切断スクライブ後、ショットに分割 |
| 上下送り方式 | 全自動モジュール |
| せいぎょモード | ソフトウェア |
| あつりょくせいぎょ | ±2.5N |
| 矯正方式 | CCD |
| 矯正精度 | ±0.4° |
| 良品率 | ≥99.5% |
| クラックロッド硬度 | ≤90HRC |
| スペーサ厚さ | ≥5mm |
| スクライブ速度 | 250mm/s-300mm/s |
| 切断の深さ | ≤120um |
| 位置合わせ方式 | テンプレートマッチング |
| しかくしょり | 二値化処理 |
| X/Y軸移動範囲 | 140mm |
| θ軸 | 270deg |
| プラットフォーム水平度 | 5-15um |
| レーザ | 鋭科30 W/IPG 20、30 W |
