平面CT

平面CT

　平面CTは板状構造素子の内部品質と構造状況を検出し分析するために専門的に用いられ、PCB板に適用し、BGA、SMT，集積チップなどのデバイスと加工プロセスの品質評価と分析。走査領域の三次元断層画像を再構築し、板状デバイス欠陥の空間位置決めを実現し、回路基板CAD設計を逆生成する。

オブジェクトの検出

プリント基板、電子と機械、モジュール、電気機械、コンポーネントとプラグ、半導体パッケージと相互接続、マイクロシステム、センサ、アクチュエータ、MEMSとMOEMS

主な技術パラメータ

●管電圧：160 kVまたは225 kV

●チューブタイプ：開放式微小焦点放射管

●ターゲット：透過式

●ターゲット：タングステンターゲット

●JIMA解像度：0.5μmまで最適

●スキャン方式：テーパスキャン

●検出器：デジタルフラットパネル検出器

インスタンスの検出