ルーツロータユニット作動原理真空ポンプ

ローツスピンチップユニットの動作原理

製品アプリケーション

JZJX型ローツスピンチップポンプ真空ユニットは、大抽気速度と高真空（10−1〜10−2 pa）を必要とする任意の真空システム、例えば冶金工業における大規模鋼液真空脱気プロセス、大型空間シミュレーション試験装置における動的真空の獲得、電力容器及び変圧器の真空浸漬処理、化学繊維工業のポリエステルスライス、電球ランプの自動生産ラインにおいて、真空コーティング装置における高真空ポンプとしての前段ユニット等。

ローツスピンチップユニットの動作原理及び構造特徴

JZJX型ローツロータポンプ真空ユニットはZJ型またはZJP型ローツ真空ポンプを主ポンプまたは中間ポンプとし、2 X型2段ロータ真空ポンプを前段ポンプとする高真空獲得設備のセットであり、その構造はコンパクトで、操作が便利である。機械はメインポンプ及び前段ポンプ或いは中間ポンプのほか、接続配管、ステンレスコルゲート管、電磁膨張弁（或いは電磁膨張遮断弁）、電気接点圧力計と電気制御箱などの付属品を含む。一般的にルーツ真空ポンプとローター真空ポンプは同じフレームに取り付けられている（大型ユニットを除く）、具体的には「ユニット外形寸法」部分を参照。
現在、ユニットに採用されているルーツポンプは通常のZJタイプまたはZJPタイプのルーツポンプであり、ZJタイプまたはZJPタイプのルーツポンプは真空システムが前段ポンプによってルーツポンプの許容起動圧力に引き込まれてからルーツポンプを起動することができるためである。そのため、一般的にはユニットの吸気口に電気接点圧力計を設置しなければならず、電気接点圧力計を通じてルーツポンプの起動と停止を制御することができる。即ち、現在段の2 X型ロータポンプが起動した後にシステムの予備吸引を開始し、システム圧力（即ちルーツポンプ吸気口の圧力）がルーツポンプの起動を許可する設定圧力（即ち電気接点圧力計緑針の指す圧力値）に達すると、ルーツポンプは起動動作を開始することができる。ユニットの各ポンプが正常に動作している場合、特別な状況が発生したため、ルーツポンプの吸気口圧力が電気接点圧力計の緑針の指示値より高い場合、ルーツポンプはすぐに自動的に停止し、これによりルーツポンプの自動過負荷保護を実現することができ、ユニットの過負荷と過熱によるユニットの故障を回避することができる。
本型のローツロータポンプ真空ユニットに搭載された前段ポンプは、国内外の技術を吸収する2段ロータ真空ポンプを採用している。この製品は現在国内の同類製品のzui高レベルであり、主に振動が小さく、騒音が低く、抽気効率が高く、高圧運転時に信頼性が高いなどを表現している。上述した真空ポンプの多くの利点により、大気圧〜1 pa入口圧力におけるユニットの良好な抽気効率が保証される。
本シリーズは、前段ロータポンプが機械停止後に発生する可能性のある返油を防止するためである。前段ポンプとルーツポンプの接続配管には高真空電磁遮断インフレーションバルブを設置し、その動作はロータポンプと連動し、すなわちロータポンプを起動する時電磁バルブはインフレーションバルブを開いて閉じ、ロータポンプを停止する時電磁バルブはインフレーションバルブを閉じてシステムにインフレーションを行う。