ルーツ真空ポンプの主な特徴

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概要

ルーツ真空ポンプの主な特徴$nは単独では使用できず、前段真空ポンプとセットで使用しなければならず、異なる種類の前段ポンプを配置すると、この真空ポンプの各性能指標は異なる。

製品詳細

三つ葉ルーツ真空ポンプ概要

　　ルーツ真空ポンプ2つの三つ葉型回転子を有し、一対の同期逆回転高精度歯車により駆動され、右図は回転子がポンプキャビティ内で120°回転し、1回の吸引、排気を完了する過程である。三つ葉ロータは漸開線型線を採用し、回転時に互いに接触せず、一定の隙間を維持する。多種の前段ポンプと組み合わせて、空冷或いは水冷方式と多種の密封形式を採用して、異なる技術とモードの要求を満たすことができる。

従来の二葉型ルーツポンプよりも抽気効率、zui大許容差、温度上昇、振動、騒音などの重要な性能指標において明らかな技術優位を持っている。三つ葉ロータは高精度歯車伝動と精密軸受支持を採用し、騒音が低く、運転がより安定しており、低入口圧力でも大きな抽気速度を持っている。

ルーツ真空ポンプの主な特徴

●回転数が高く、容積率が高く、温度上昇が低く、振動が小さい。

●構造が簡単で、信頼性がよく、操作、メンテナンスが便利である。

・ロータがロックされ、軸方向直動現象がなく、故障率がより低い。

●すべての平面静シールはOリングシールを採用し、繰り返し着脱することができる。

●主軸は機械密封を採用し、ポンプ室に油がなく、長期にわたって漏れがないことを確保する。

・エンドキャップシールは、機械的シール、スケルトン、ピストンリング、ラビリンスシールなどの様々な形態を採用することができる。

ルーツ真空ポンプの主な特徴

適用範囲

三つ葉は単独では使用できず、前段真空ポンプとセットで使用しなければならず、異なる種類の前段ポンプを配置すると、各性能指標が異なる。主に大抽気速度と粗、中真空（103 ~ 10-2 Pa）を必要とする真空システム、例えば真空めっき膜、真空溶接炉、真空熱処理炉、大型空間シミュレーション試験、マイクロ電子及び集積回路、ランプ管及び電球製造、真空包装、集中抽気システム、各種化学工業処理、真空脱気、真空脱水、真空冷凍乾燥ノイズ、真空蒸留に応用される。

仕様パラメータ

モデル	抽気速度（L/S）	きょくげんあつりょく (パ)	許容差圧 (パ)	はいちでんりょく（Kw）	回転数（rpm）	吸気口（mm）	はいきぐち（mm）	総重量（kg）	推奨前段ポンプ
ZJ-70 の	70	≤0.05	≥1.2×104	1.5	2900	100	80	198	2x-15
ZJ-150 型	150	≤0.05	≥1.2×104	3	2900	100	80	198	2x〜30
ZJ-300	300	≤0.05	≥1×104	4	2900	150	100	290	2x-70
ZJ-600型	600	≤0.05	≥8×103	5.5(7.5)	2900	200	150	490	ZJ-150 型 2x〜30
ZJ-1200型	1200	≤0.05	≥6×103	11	2900	250	200	790	ZJ-300 2x-70
ZJ-2500型	2500	≤0.05	≥5×103	18.5	2900	320	250	1550	ZJ-600型 H-150 型
ZJ-5000 型	5000	≤0.05	≥4×103	37	1450	400	320	3080	ZJ-1200型 H-150 型
ZJ-10000型	10000	≤0.05	≥3×103	55	1450	500	400	5000	ZJ-1200型 H-150 型
ZJ-20000型	20000	≤0.05	≥3×103	110	1450	800	750	9500	ZJ-1200型 H-150 型

注：上表の各性能は推薦前段ポンプを配用する条件下で獲得したものであり、状況に応じて異なる前段ポンプを選択すると、その主な性能指標は変化する。抽気速度とは、推奨前段ポンプを用いた条件下での入口圧力が67 pa ~ 2.67 paの範囲で測定されたzui大抽気速度を指す。（性能曲線を参照）限界圧力とは、推奨前段ポンプを配用する条件下で、付加容器、ポンプポートを一切持たずに密閉して吸気せず、十分に抽気した後に圧縮式真空計でポンプ吸気ポートで測定した安定した空気分圧力のzui低値を指す。

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