ターボ分子ポンプ

ZYFB-3600型ターボ分子ポンプ

技術パラメータ表

モデル

ZYFB-3600吸気口フランジ

400 ISO-K排気ポートフランジ

100 ISO-K

抽気速度（L/S）（対空気）3600

あっしゅくひ

N2>108 H2>6X102

限界圧力（Pa）<2×10-6

定格回転数（rpm）12600

ベアリングの使用

インレットセラミックベアリング

振動値≦0.15μm

起動時間（min）<10

ダウンタイム（min）<20

推奨前段ポンプ（L／S）30

冷却方式水冷

冷却水温度（℃）≦20

冷却水流量（L/min）1

ポンプ体焼成温度（℃）<80

周囲温度（℃）5-40

取り付け方向

垂直±5°

ポンプ重量（kg）≒100

ZYFB-3600型ターボ分子ポンプ

高速で回転するロータがガス分子を携帯して運動し、超高真空を得る機械式真空ポンプであり、動翼車と静翼車を組み合わせたもので、拡散ポンプより省エネ、油蒸気汚染がなく、同時に分子流時の抽気速度が大きく、圧縮比が高い特徴を持ち、現在の国内の大抽気速度の分子ポンプであり、動翼車は変断面加工を採用し、その強度増加重量が減少し、分子ポンプの性能をより信頼性が高く、安定させる。

この分子ポンプは被吸引ガスに対して選択性がなく、記憶効果がなく、分子量の大きいガスに対して高い圧縮比があるため、このポンプはコールドトラップとオイルバッフルを必要とせずに清浄な高真空と超高真空を得ることができる。それは広く電子、冶金、化学工業、科学研究及び真空技術の各分野に応用されている。