ルーツバルブポンプ真空ユニット型式

ルーツバルブポンプ真空ユニット型式製品紹介

ルーツバルブ真空ユニットは通常のZJ型またはZJP型バイパスバルブ付きルーツ真空ポンプであり、ZJ型またはZJP型ルーツ真空ポンプはシステムが前段スライドバルブ真空ポンプによってルーツ真空ポンプに引き出され、起動圧力が許可された後にルーツ真空ポンプを起動することができるためである。そのため、一般的にはユニットの吸気口に電気接点真空計を設置し、ルーツ真空ポンプの起動圧力と作動圧力範囲を制御しなければならない。すなわち、現在段のH−150 Dスプールバルブ真空ポンプが起動した後にシステムのプリドローを開始し、システム圧力であるルーツ真空ポンプ吸気口圧力が予め設定された電気接点圧力計緑針の指し示す値（すなわちルーツポンプの起動許容圧力値）に達すると、ルーツ真空ポンプは着工することができる。もしユニットの各ポンプが正常に動作している場合、特別な状況が発生したため、ルーツ真空ポンプの吸気口圧力が電気接点圧力計の緑針の指す値より高い場合、ルーツ真空ポンプは自動的にポンプを停止し、これによりルーツ真空ポンプの自動過負荷保護を実現でき、過負荷と発熱によるポンプの故障を回避することができる。

特徴
（1）比較的広い圧力範囲内で大きな抽気速度がある、
（2）回転子は良好な幾何対称性を持っているので、振動が小さく、運転が安定している。ロータ間及びロータとケーシング間には隙間があり、潤滑を使わず、摩擦損失が小さく、駆動電力を大幅に低減でき、それによって高い回転速度を実現することができる、
（3）ポンプキャビティ内に油密封と潤滑を必要とせず、油蒸気による真空システムの汚染を減らすことができる、
（4）ポンプ室内に圧縮がなく、排気弁がない。構造が簡単で、コンパクトで、排気ガス中のほこりと水蒸気に敏感ではない、
（5）圧縮が比較的に低く、水素抽気に対する効果が悪い、
（6）回転子表面は形状が複雑な曲線円筒面であり、加工と検査が困難である。

ルーツバルブポンプ真空ユニット型式常用型式及びパラメータ

注：1、機械の限界圧力とはマグニチュード真空計で測定した空気分圧値を指し、熱偶真空計で測定した全圧力値は限界圧力より半分から1桁小さいべきである。

2、ユニットのzui大抽気速度とは、ユニットのメインポンプの入口圧力が約1～100？pa動作条件下で測定された実際の抽気速度。