空冷ルーツスクリューポンプ真空ユニット型式

空冷ルーツスクリューポンプ真空ユニット型式製品紹介

本機はZJ型またはZJP型ルーツ真空ポンプを主ポンプまたは中間ポンプとし、VPSスクリュー真空ポンプを前段ポンプとするセットの高真空獲得設備であり、その構造はコンパクトで、操作が便利である。機械はメインポンプ及び前段ポンプ或いは中間ポンプのほか、接続配管、ステンレスコルゲート管、電気接点圧力計と電気制御箱などの付属品を含む。一般的にルーツ真空ポンプとスクリュー真空ポンプは同じフレームに取り付けられている（大型ユニットを除く）、具体的には「ユニット外形寸法」部分を参照。

空冷ルーツスクリューポンプ真空ユニット型式製品の特徴

現在、ユニットに採用されているルーツポンプは通常のZJタイプまたはZJPタイプのルーツポンプであり、ZJタイプまたはZJPタイプのルーツポンプは真空システムが前段ポンプによってルーツポンプの許容起動圧力に引き込まれてからルーツポンプを起動することができるためである。そのため、一般的にはユニットの吸気口に電気接点圧力計を設置しなければならず、電気接点圧力計を通じてルーツポンプの起動と停止を制御することができる。即ち、現在段のVPSスクリューポンプが起動した後にシステムの予備吸引を開始し、システム圧力（即ち、ルーツポンプ吸気口の圧力）がルーツポンプの起動を許可する設定圧力（即ち、電気接点圧力計緑針が指す圧力値）に達すると、ルーツポンプは動作を開始することができる。ユニットの各ポンプが正常に動作している場合、特別な状況が発生したため、ルーツポンプの吸気口圧力が電気接点圧力計の緑針の指示値より高い場合、ルーツポンプはすぐに自動的に停止し、これによりルーツポンプの自動過負荷保護を実現することができ、ユニットの過負荷と過熱によるユニットの故障を回避することができる。

特徴
（1）比較的広い圧力範囲内で大きな抽気速度がある、
（2）回転子は良好な幾何対称性を持っているので、振動が小さく、運転が安定している。ロータ間及びロータとケーシング間には隙間があり、潤滑を使わず、摩擦損失が小さく、駆動電力を大幅に低減でき、それによって高い回転速度を実現することができる、
（3）ポンプキャビティ内に油密封と潤滑を必要とせず、油蒸気による真空システムの汚染を減らすことができる、
（4）ポンプ室内に圧縮がなく、排気弁がない。構造が簡単で、コンパクトで、排気ガス中のほこりと水蒸気に敏感ではない、
（5）圧縮が比較的に低く、水素抽気に対する効果が悪い、
（6）回転子表面は形状が複雑な曲線柱面であり、加工と検査が困難である

製品説明

本型のルーツスクリューポンプ真空ユニットに搭載された前段ポンプは、韓国輸入などのスクリュースクリュー真空ポンプを採用している。この製品は現在の同類製品のレベルであり、主に振動が小さく、騒音が低く、抽気効率が高く、高圧運転時に信頼性が高いなどが現れている。上記真空ポンプの多くの利点により、ユニットは良好な抽気効率を保証する。