精密防振光学プラットフォーム−光学プラットフォーム−浮上光学プラットフォームh−TDI

製品の説明：

精密隔振光学平台–光学プラットフォーム–エアフロート光学プラットフォームh−TDIシリーズは、日本のHERZ社が開発した3 D制振タイプのシステムである。このシリーズ精密隔振光学平台原始TDI制振システムのSHG技術を改良し、超高性能3 D空気ばねと高減衰フレームを組み合わせ、3次元6自由度の振動を隔離でき、光学顕微鏡、干渉計、輪郭計などの精密機器に適用でき、ユーザーに優れた受動防振性エネルギーを提供することができる。シリーズは日本HERZ社が開発した精密隔振光学平台の3 D制振タイプシステム。このシリーズは原始TDI制振システムのSHG技術を改良し、超高性能3 D空気ばねと高減衰フレームを組み合わせ、3次元6自由度の振動を隔離でき、光学顕微鏡、干渉計、輪郭計などの精密機器に適用でき、ユーザーに優れた受動防振性能を提供することができる。

Herz光学プラットフォームの動作原理：

測定や製造設備が取り付けられた床は多かれ少なかれ振動する。これらの振動が設備に悪影響を与える場合、最も効果的な解決策は光学プラットフォーム-精密制振台-電子ミラー防振台（制振台）を使用して、その設備に最適な条件を作ることである。

受動防振台は、入力された振動を吸収し、振動エネルギーを消費して防振するために、その独特の柔らかい動き、移動しやすい形状と適切な重量で吸収します。したがって、防振ゴムや空気ばねのような柔軟な材料、および柔軟に移動できる部品は、受動防振台の重要な要素である。受動防振台は、ばね強度を変更したり、ばねの数を増やしたりすることで、数十トンの装置を支持することができる。

防振支持体（ばね上）の総重量Mに対して、空気ばね式防振台は、静荷重下の「ばね圧力受圧面積S」、「ばね内部圧力P」と「ばね数N（支持体の数）」を乗算した総数値をバランスさせることを目的としている。動的負荷状況（M重心の移動による不平衡状態）が発生した場合、可変負荷成分（ΔM）は機械バルブによって自動的に補正されるか、閉鎖バルブによって手動で補正されて内部圧力を補正する。空気ばね式防振台は、ばね材料の粘性抵抗と閉塞圧力の空気（ガス）抵抗を損失係数として使用し、防振効果を改善するために、空気ばね内部容積（ばね空洞）と補助ガスタンク内部容積（減衰室）との間をオリフィス（スロットルバルブ）で接続し、オリフィスを介して空気減衰を行う。この補助ガスタンクは自然周波数を調整する主要な要素の1つである。この制御方法の利点は、機械バルブによる圧力操作（圧力IN/OUT/EXH）、オリフィスまたは速度制御器による流速/流量調整など、低コストのコンポーネント構成によって最大の効果を得ることができることである。

技術パラメータ：

• 型番：h-TDI※オプションh-TDIS
• 制振方式：垂直方向-HERZ制振空気ばね、水平方向-HERz高性能水平振動隔離システム
• エアスプリング数：4-6
• 減衰方式：垂直方向はオリフィスを通して空気減衰を行い、水平方向は特殊ゴムの高性能減衰を採用する
• 固有周波数：垂直方向約1.3 Hz／水平方向約0.6 Hz（均等最大重量搭載時）
• レベリング方式：3つの機械式自動レベリングセンサ付き
• 給気方式：ガス源分離給気
• 必要気圧：0.3～0.7 MPa（3～7 kgf/c㎡）※手動給気オプション
• テーブル材質：天板-磁化ステンレス板5 t、底板-熱間圧延低炭素鋼板4.5 t※消磁ステンレス板を選択可能
• ハニカム板の材質：アルミニウム/鋼製ハニカム板※オプション消磁ステンレスハニカム板
• 表面処理：タップM-6・25 mmマトリックス標準加工（オプション）表面未塗装（※ブラック塗料付き）
• 荷重力：150～1000 Kg（型番による）
• 全体重量：197-3400 Kg（モデルやパネルの材質によって異なる）
• 外形寸法：モデルによって異なります（107 LA-6015 LA）

アップグレードオプション：

• 高減衰フレーム
• パネルオプション：必要に応じて高減衰ハニカム板、スレート、鋳鉄板を選択可能

制振効果-Herz光学プラットフォーム：

h−TDIシリーズ電子顕微鏡防振台は垂直方向と水平方向の振動状況を効果的に低下させ、高減衰フレームを組み合わせることで、外力衝撃による変位を最小化することができる。