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メール
liuyuanzhi@eti-test.com
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電話番号
19201635557
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アドレス
蘇州市呉江は同里経済開発区に行く
蘇州奕泰環境科学技術有限公司
概要
ET-R 101 FS型レーザダスト粒子計数器は、蘇州奕泰環境科学技術有限公司のオンラインモニタリングシステムの製品の一つである。最小粒径レンジを測定すると0.1μmに達することができ、ISO 7-ISO 1のクリーン環境を測定することができ、サンプリング流量は2.83 L/minで、半導体業界の高精度クリーン環境測定のために設計され、伝統的な精度の限界を突破し、フォトレジストの揮発を正確に捕捉し、設備の摩耗によって発生したサブミクロン汚染粒子を捕捉し、ISO 1級クリーン度に対するナノプロセスの厳しい要求を満たす。オンライン0.1μm塵埃粒子計数器は検出精度が高く、人間と機械の界面が友好的で、操作が簡単である。
製品詳細
ET-R 101 FS型レーザダスト粒子カウンタ（オンライン）
ブランド：etiedt奕泰浄科
一、概要：
ET-R 101 FS型レーザダスト粒子計数器は、蘇州奕泰環境科学技術有限公司のオンラインモニタリングシステムの製品の一つである。最小粒径レンジを測定することができる0.1μm、ISO 7-ISO 1のクリーン環境を測定でき、サンプリング流量は2.83 L/minで、半導体業界の高精度クリーン環境測定のために設計され、伝統的な精度の限界を突破し、フォトレジストの揮発を正確に捕捉し、設備の摩耗により発生したサブミクロン汚染粒子は、ナノプロセスによるISO 1級クリーン度に対する厳しい要求を満たす。計器は検出精度が高く、ヒューマンインタフェースがフレンドリーで、機能が豊富で、操作が簡単である。
本製品は、半導体、電子、光学、新エネルギー、精密機械、化学、医薬衛生、生物製品、航空宇宙，などの部門があります。
二、特徴：
◆304ステンレス鋼ケース（航空アルミニウム材カスタマイズ可能）
◆5.0超大HDカラータッチスクリーン、操作が簡単
◆最小検出粒径0.1μm、8チャンネル
◆約500万本のデータストレージ＋USBデータエクスポート＋クラウド相互接続
◆SCADA/MESシステムドッキング対応
◆ESD安全スマート電源管理システム
◆ISO 14644-1クリーン度等級報告書自動生成
◆能動流量制御PID自動調整
◆防爆需要のカスタマイズ、防爆は外殻の防爆に対してのみ、具体的には顧客の需要に応じて1対1のカスタマイズを行う。
三、性能：
◆サンプリング流量：2.83L/分 ±5（0.1 CFM）
◆りゅうけいぶんぷごさ；国優±20％FS
◆ひょうかのうどごさ；国優±20%FS
◆じじょうじかん；国優≤8分
◆繰返し相対誤差；国優≤8%FS
◆サンプリング濃度、35,000本/リットル
◆まで少50,000,000本のサンプリングデータストア
四、応用：
半導体清浄工場の検査、
ウエハパッケージ製品ラインのモニタリング、
フォトリソグラフィーラインモニタリング、
精密光学
新エネルギー
航空宇宙
五、技術パラメータ：
サンプリングフロー |
2.83L/分 |
粒子径分級 |
8チャンネル：0.1μm、0.15μm、0.2μm、0.25μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm |
レーザ光源 |
長寿命レーザーダイオード、寿命＞35,000時間 |
サンプリング濃度 |
1000000個/立方フィート |
サンプリングパターン |
れんぞくサンプリング+リアルタイムカウント、インターバルサンプリング、累積カウント |
けいすうりつ |
50%@0.1μm;100%@>0.15μm符合ISO21501-4 |
サンプリング遅延 |
ユーザ自己設定 |
サンプリング間隔 |
ユーザ自己設定 |
通信プロトコル |
モドバス |
通信方式 |
RS485、インターネット |
データメモリ容量 |
約500万グループ測定データ、照会可能，エクスポート |
スクリーン表示 |
5.0カラー高画質タッチスクリーン |
印刷モード |
オンライン料金はサポートされていません |
電気 源（みなもと） |
DC 12 V（9-28 VDC）出力電力は12 V3 A以上 |
リファレンス基準 |
ISO 21501-4、GBT29024.4-2017、JJF1190-2008 |
データ通信インタフェース |
USB（直接エクスポートまたはIOTオンライン監視システムの表示），RS485、RJ45 |
輪 境 |
使用環境：10∽40℃相対湿度20∽95％RH |
ストレージ環境：-20℃∽45℃相対湿度0∽95%RH | |
大気圧：86-106kPa | |
標準部品 |
等動力サンプリングヘッド、サンプリングヘッドホース、自浄フィルタ、取扱説明書、元工場校正報告書、合格証など |
外形寸法 |
広い220mm×高さ162mm×奥行き130mm（含まないサンプリングポート、アラームランプ） |
ざいりょう しつりょう |
304ステンンレス鋼 |
重い 量 |
2.8キログラム |
六、etiedt奕泰浄科：
蘇州奕泰環境科学技術有限公司国産クリーン環境測定器のインテリジェント化革新応用専門最前線企業、
輸入機器の国産化代替ブランドの新勢力、
国内の浄化ブランドサービス業者、浄化良質サービス業者、
クリーンマイクロ環境インテリジェント監視機器の完全なソリューション専門企業
半導体清浄環境測定、イーソンタイ清浄科Eシリーズレーザー塵埃粒子計数器の検出レベルは10級から30万級の環境測定を満たすことができる、
オンライン0.1μm塵埃粒子計数器オンライン監視システム、
オンライン0.1μm塵埃粒子計数器遠隔環境オンライン監視システム
