JZJWルーツ往復ポンプ真空ユニット

JZJWルーツ往復ポンプ真空ユニット製品概要

ルーツ真空ポンプを主ポンプとし、オイルフリー往復真空ポンプを前段ポンプとする真空獲得ユニットである。本機械は電気接点真空計（或いは圧力トランスミッタ）と電気制御システムを通じてルーツ真空ポンプ、往復真空ポンプの自動起動、停止、自動過負荷、過熱保護を実現する、及び各種計器、バルブを自動制御する一式の真空獲得設備。

往復真空ポンプピストンの往復運動によってポンプチャンバ（シリンダ）の作動容積を周期的に変化させて抽気する真空ポンプ、ピストン真空ポンプとも呼ばれる。往復真空ポンプの構造は復活プラグ圧縮機と似ており、動作時、吸気管は真空容器に接続され、排気管は大気に直通する。往復真空ポンプは低真空取得装置に属し、内部圧力が大気圧以下の容器からガスを除去する。

JZJWルーツ往復ポンプ真空ユニット特徴

ルーツ真空ポンプの圧縮は比較的に小さいため、ルーツ往復ポンプ真空ユニットをより高い真空度とより大きな抽気効率を達成するために、複数台のルーツ真空ポンプと1台の往復真空ポンプを直列に用いて多段ルーツ往復ポンプ真空ユニットを構成することができる。真空ユニットの段数は動作真空度によって決定され、一般的な真空ユニットの限界真空は動作真空より半分から1桁高くなければならない。

特徴
（1）比較的広い圧力範囲内で大きな抽気速度がある、
（2）回転子は良好な幾何対称性を持っているので、振動が小さく、運転が安定している。ロータ間及びロータとケーシング間には隙間があり、潤滑を使わず、摩擦損失が小さく、駆動電力を大幅に低減でき、それによって高い回転速度を実現することができる、
（3）ポンプキャビティ内に油密封と潤滑を必要とせず、油蒸気による真空システムの汚染を減らすことができる、
（4）ポンプ室内に圧縮がなく、排気弁がない。構造が簡単で、コンパクトで、排気ガス中のほこりと水蒸気に敏感ではない、
（5）圧縮が比較的に低く、水素抽気に対する効果が悪い、
（6）回転子表面は形状が複雑な曲線円筒面であり、加工と検査が困難である。