日立ハイテク走査電子顕微鏡FlexSEM 1000

日立ハイテクノロジーズは2016年4月15日、世界で新しい走査型電子顕微鏡（FlexSEM）1000を発表した。この製品は構造がコンパクトで、敷地面積が小さいが、解像度は大型電子顕微鏡に負けず、同時に操作が極めて簡便で、ほとんど訓練なしで操作できる。コンパクト設計で、解像度は4 nm。
走査電子顕微鏡は材料の表面に対して高倍率観察及び高精度元素分析を行うことができ、ナノ技術、生命科学、製品設計研究開発及び故障分析などの分野で広く応用されている。近年、走査電子顕微鏡による表面微細構造の観察や元素分析の需要が増加しているが、生産ライン、品質保証検査ライン、オフィスエリアなど限られた空間で走査電子顕微鏡を使用することを望むユーザーが増えている。そのため、小型で操作が簡単で解像度の高い走査電子顕微鏡が注目されている。FlexSEM 1000本体は幅450 mm、長さ640 mmで、SU 1510モデルに比べて体積が52%減少し、重量が45%減少し、消費電力が50%減少し、標準化された電源インタフェースを搭載している。ホストと給電ユニットは分離可能で、設置は非常に柔軟です。
FlexSEM 1000は最新設計の電子光学系と高信頼性、高感度の検出器を採用し、解像度は4 nmに達する。FlexSEM 1000には多種の自動化機能があり、操作が簡便で、初めての操作者でも高速で高品質の画像を撮影することができる。また、新開発のナビゲーション機能「SEM MAP」は、さまざまな光学画像や電子顕微鏡写真を用いてナビゲーションすることができ、ワンクリックで興味のある高倍率視野に素早く正確に切り替えることができる。

特徴：

a.高感度二次電子検出器、後方散乱検出器、低真空検出器（UVD^*2）、低加速電圧/低真空下での高品質画像観察を実現する

b.操作が簡単で、初心者でも高品質な写真が撮れる

c.新開発のナビゲーション機能「SEM MAP」は、視野を素早くロックするのに便利である

d.大窓（30 mm²）SDDエネルギースペクトルシステム、素子成分の迅速な分析に便利^*2

*1デスクトップに設置する場合、本体と電源ボックスを分離する

*2オプション

プロジェクト		内容
ぶんかいエネルギー*3		4.0 nm@20 kV（SE：高真空モード） 15.0 nm@1 kV（SE：高真空モード） 5.0 nm@20 kV（BSE：低真空モード）
かそくでんあつ		0.3 kV ～ 20 kV
拡大倍率		6×〜30000×（ネガ倍率） 16×〜800000×（表示倍率）
低真空モード		真空範囲：6～100 Pa
電子銃		プレペアタングステンフィラメント
サンプルテーブル		3-軸自動モータ台 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
最大サンプルサイズ		直径80 mm
最大サンプル高さ		40 mm
寸法すんぽう		本体：450（W）x 640（D）x 670（H）mm 給電ユニット：450（W）x 640（D）x 450（H）mm
プローブオプション		高感度低真空二次電子検出器（UVD） エネルギー分散型X線検出器（EDS）