高温四プローブ抵抗率試験器

一.BEST-351高温四プローブ抵抗率試験システムの概要：
四プローブ二重電気結合測定方法を用いて角抵抗と抵抗率システムと高温箱を結合配置する高温四プローブ試験プローブ治具とPCソフトウェアの対数データの処理と測定制御をテストし、半導体材料の電気伝導率の温度変化測定に対する要求を解決し、ソフトウェアはリアルタイムに温度と抵抗、抵抗率、電気伝導率データの変化曲線スペクトルを描画し、プロセスデータ値の報告表分析を行った。
二.適用業界：
企業、大学、科学研究部門は導電性セラミックス、シリコン、ゲルマニウム単結晶（棒材、ウエハ）の抵抗率、シリコンエピタキシャル層、拡散層とイオン注入層のブロック抵抗の測定、および導電性ガラス（ITO）とその他の導電性薄膜などの新材料のブロック抵抗、抵抗率と導電性データの測定に使用する.
電気二重測定四プローブ計は直線四プローブを用いた二重位置測定である。単結晶シリコンを参照する物理試験方法を設計し、米国A.S.T.M規格を参照する。
三.型番とパラメータ：
仕様型式FT-351 A FT-351 B FT-351 C
ブロック抵抗範囲10−5〜2×105Ω10−6〜2×105Ω10−4〜1×107Ω
抵抗率範囲10−6〜2×106Ω−cm 10−7〜2×106Ω−cm 10−5〜2×108Ω−cm
試験電流範囲0.1μA.μA.0μA、100μA、1 mA、10 mA、100 mA 1 A、100 mA、10 mA、1 mA、100 uA、10 uA、1 uA、0.1 uA 10 mA？----200 pA
電流精度±0.1%示度±0.1示度±2%
抵抗精度≦0.3%≦0.3%≦10%
PCソフトウェアインタフェース表示：抵抗、抵抗率、角抵抗、温度、単位換算、温度係数、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ、導電率
テストモード電気二重測定
四プローブ作動電源AC 220 V±10%.50 Hz<30 W

誤差≤3%（標準サンプル結果≤15%
温度（オプション）
常温--400℃、600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃
雰囲気保護（気体顧客による自己準備）常用気体は以下の通りである：ヘリウム（He）、ネオン（Ne）、アルゴン（Ar）、クリプトン（Kr）、キセノン（Xe）、アルゴン（Rn）、いずれも無色、無臭、気体状態の単原子分子である
温度精度沖温値：≤1-3℃、温度制御精度：±1°C
昇温速度：常温から400℃〜800℃で15分必要、800℃〜1200℃で30分、1400℃-1600℃で250分～300分
高温材料は複合セラミック繊維材料を採用し、真空成形、高温で粉が落ちない特徴がある
PCソフトウェア
PCソフトウェア一式、USB通信インタフェース、ソフトウェアインタフェースをテストし、データを表示、分析、保存、印刷する！
電極材料のタングステン電極又はモリブデン電極
プローブ間隔
直線型プローブ、プローブ中心間隔：4 mm、サンプル要求は13 mm直径より大きい
標準配置外（オプション）：
パソコンとプリンター1セット、2.標準抵抗1〜5個

高温電源：
給電：400-1200℃電源220 V、出力4 KW、380 V、1400℃-1600℃電源380 V、出力9 KW：

組み合わせ方案：各材料の状態を解決する--固体、液体、気体、粒子状抵抗、抵抗率、導電率測定