クリーンオーブンHSCOL-2 Dシリーズ

クリーンクリーンオーブンの特徴：

HSCOL-2 Dシリーズのクリーンオーブン系は、半導体製造におけるシリコンシート、ガリウム砒素、ニオブ酸リチウム、ガラスなどの材料塗布前の前処理焼成、塗布後の硬膜焼成と現像後の高温焼成に用いられ、強制送風循環方式に用いられる。双風道循環構造、温度場分布均一、知能P.I.D温度制御システム、良好な温度制御精度を得た。クリーンオーブンは電子液晶表示、LCD、CMOS、IS、医薬、実験室などの生産及び科学研究部門。クリーンオーブンは、不揮発性及び非可燃性爆発物の乾燥、熱処理、老化などの他の高温試験にも使用できる。

クリーンオーブンの詳細：

一.特徴：
1.通常の環境で使用することで、オーブン内部のレベルがClass 10に達することを確保できる
2.全周アルゴン溶接、高温シリカゲルの破締に耐え、SUS 304#ステンレス電熱生産器、機台自体に発生する微塵を防ぐ、
3.輸入SUS 304#日製800番2 mm厚の鏡面ステンレス板を採用し、アルカリ性ソーダ水で洗浄し、油汚れを除去してベーキング時にPARTICLEが発生しないようにする、
4.採平面レベルは後から前へ送風した後、米国輸入H.E.P.A Filter 20“×20”装置を経て前扉（特殊風路設計）方向へ送風し、濾過効率99.99%、Class 10、排気口：3“φ（自動開閉風扉付き）

二.クリーンオーブンの実行と基準の満足
1.GB/T 11158-1989高温試験箱技術条件
2.GB 2423.2-1989試験B

三.クリーンオーブン用途
クリーンオーブンは電子液晶表示、LCD、CMOS、IS、医薬、実験室などの生産及び科学研究部門。
クリーンオーブンは、不揮発性および非可燃性爆発物の乾燥、熱処理、老化などの他の高温試験にも使用できる。

四.クリーンオーブン技術パラメータ
1.名称と型番：クリーンオーブンHSCOL-2 D
2.主な技術指標：
2.1クリーンレベル：Class 10、
2.2温度範囲：60〜＋300℃、
2.3温度均一度：200℃±3℃、300℃±4℃、
2.4温度変動度：±0.5℃（空荷重）
2.5温度制御精度：±0.1℃、
2.6クリーンオーブン棚はアクティブな形式である。（2箱タイプ）
2.7電源：380 v、50 Hz、12 Kw

3、クリーンオーブン箱の構造：
3.1クリーンオーブンは箱体部分、電気制御盤、電気加熱及びダクトシステムから組み立てられ、構造が合理的で、外観が美しく、気前がよい、
3.2全周アルゴン溶接、高温シリカゲルの圧迫に耐え、SUS 304＃ステンレス電熱発生器、機台自身の微塵発生を防ぐ、
3.3箱体材料：外箱はSS 41#中炭素鋼板を用いてリン酸皮膜塩処理後の2層防光面塗装塗装塗装塗装を行い、微塵を防止することができる、
3.4内胆材料：輸入SUS 304#日製800番2 mm厚さの鏡面ステンレス板を採用し、アルカリソーダ水で洗浄し、油汚れを除去してベーキング時にPARTICLEを発生させない、
3.5中槽材料：輸入SUS 304#日製800番2 mm厚さの鏡面ステンレス板を採用し、アルカリソーダ水で洗浄し、油汚れ及びアルゴン溶接密封加工（汚染防止）する。

4、温度制御システム
4.1日本OMRON E 5 A型温度制御器、クリーンオーブン制御器のLEDデジタル表示と設定、PID自動演算、フィルム設定を採用し、精度±0.3%FS。
4.2信号源：日製輸入CA誘導棒±0.5%を採取する。
4.3出力制御コンポーネント：SSR無接点信号出力。

5、完全な安全保護措置：
漏電遮断器、
制御回路ヒューズ装置、
超温防止保護装置、
電熱過電流保護装置、
モータ過電流保護、
テーブル異常ブザー警告
リバース防止器、
ドア安全スイッチ

6、クリーンオーブンの選別設備：
6.1プログラマブル温度制御器
6.2六点温度記録計
6.3三色LED
6.4グリル