デスクトップ式アクティブ防振光学プラットフォーム-デスクトップ式アクティブ防振台-Herz TS Series

概要：

21世紀におけるナノテクノロジー（例えば、情報関連技術を代表する先進的な半導体、遺伝子治療、原子または分子処理、例えばMEMSや新材料生成などの工学技術）、振動、騒音、電磁場、熱、湿度、干渉などが測定環境の制約要因となる。ナノテクノロジーでは、信頼性の高い結果を得るために、エアフロート防振の低周波範囲を使用することが困難であり、能動防振が必要である。

デスクトップ式能動防振台-Herz TS Series先進能動防振システムは21世紀のナノ技術の防振技術の基礎となり、現在の技術と測定、革新、発展の未知技術の促進に役立つだろう。TSシリーズは、0.7 Hz〜100 Hzの広い範囲で6自由度すべてにわたって優れたアクティブ防振性能を提供します。

動作原理：

デスクトップ式能動防振光学プラットフォーム-デスクトップ式能動防振台-Herz TS Seriesは先進的な防振技術を採用し、6つの空間方向の振動（水平方向と垂直方向を含む）を隔離することができ、TSシリーズ能動防振台はコントローラ内の圧電加速センサを利用して外界振動の圧力信号を電気信号に変換して隔離モジュール中の圧電変換器に送信し、その後圧電変換器は流入圧力と大きさが等しく、方向が反対の圧力信号を発生して流入振動を除去する。防振システムは、フィードバックループを用いて防振システムの機械的共振を除去する。

パフォーマンスの比較（TS-150/LP）：

–振動加速度比較

右側のデータはTS-150/LPの防振性能、水平（X、Y）と垂直（Z）を示している。

青い線：地面振動加速度

赤線：TS-150/LP表面取付板加速度

–振動伝達率

右側のデータは、地上からTS-150/LP表面実装プレートへの振動伝達率、水平（X、Y）、垂直（Z）を示している。

垂直軸：伝達率、単位：dB

（20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、-40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001）

このデータは、アクティブ防振システムが1 Hz〜100 Hzの低周波範囲で優れた防振性能を有することを示している。

デスクトップ式能動防振光学プラットフォーム-デスクトップ式能動防振台-Herz TS Series技術パラメータ：

スピーカーを組み合わせて最適な測定環境を作成：

走査電子顕微鏡などの原子または分子研究には、TSシリーズの能動防振システムが重要である。また、振動だけでなく音響抑制も考慮すべきである。私たちが生産したAEkスピーカーは、SPMなどの超高解像度アプリケーションに適しています。AEkとTSシリーズを統合することで、最適な測定環境を提供できます。

AEK-2002スピーカーを組み合わせる：AEKシステムは多層可変密度遮音材料層を採用し、広帯域ノイズを効果的に隔離することができる。

TS適用例：