循環水真空ポンプのメンテナンスの鍵は日常の細心な操作と定期的な深さ清潔にあり、核心は水質清潔を維持し、逆吸引を防止し、密封性を確保し、季節的な防護をしっかりと行うことである。
1、日常メンテナンスは基礎である。使用するたびに必ずタンクを空にして、水を静置して藻類を繁殖させたり、スケールを堆積させたりしないようにして、蒸留水や脱イオン水を使用することをお勧めします。湿布でポンプ本体の表面を清掃し、ほこりが放熱孔を塞ぐのを防止する。接続ホースの老化、ひび割れ、接続口のシールリングが完全であるかどうかを検査し、必要に応じて真空グリースを塗布してシール性を強化する。
2、毎週深さ清掃が必要である。5%クエン酸溶液または白酢サイクルで10分間スケールを溶解し、頑固なスケールは軟毛ブラシで羽根車の表面を軽くブラシすることができる（金属ブラシを使用禁止）。羽根車に腐食や異物が引っかかっていないかどうかを検査し、取り出して整理する。3ヶ月ごとにベアリングに高速グリースを添加し、騒音が大きくなると早めに潤滑する必要がある。
3、毎月防食とシステム検査を行う。酸性ガスを吸引したら、1%炭酸水素ナトリウム溶液で循環中和してから洗い流す。シールリング（Oリング）を外し、シリコングリースを少量塗布して硬化を防ぐ。空荷でポンプを運転し、公称真空度に達するために必要な時間を記録し、明らかに延長する場合は空気漏れやインペラ摩耗を排除する必要がある。
4、季節的なメンテナンスは無視できない。冬季にタンクに20%エチレングリコールまたは専用凍結防止液を添加し、凍結膨張割れポンプ体を防止する、長期間使用しない場合は、タンクを空にして5℃以上の環境に置く。高温の季節は放熱ファンのほこりを整理し、通風が良好であることを確保し、環境温度は≦30℃を提案し、連続運転を避け、4時間ごとに30分間停止する。
5、長期使用停止前に徹底的にメンテナンスする必要がある。水タンク及び管路を排気し、圧縮空気で羽根車とポンプ室を吹き込み、ダストカバーをかぶせて乾燥環境に保管する。また、真空ポンプと実験装置の間に緩衝瓶を直列に接続し、逆止弁を用いて機械的防護を行い、逆吸引を効果的に防止しなければならない。