高効率フィルタ漏れ検出第三者発行報告書

クリーンルームの制御された環境試験：高効率フィルタ漏れ検出、クリーン度（塵埃粒子濃度）、浮遊菌、沈降菌、表面微生物、平均風速、風量と換気回数、温度、相対湿度、静圧差、照度、騒音、気流流型、自浄時間（自浄能力、回復能力）、圧縮ガス（水、油、浮遊菌、固体粒子粉塵濃度試験）など、