蘇州益康環境測定有限公司

電子工業クリーンルーム検査方案

クリーンルーム検出項目：換気回数（風速）、圧力差、温度、湿度、騒音、照度、クリーン度（塵埃粒子）

顧客単位：***電子会社

測定機器リスト

1、風量または風速試験は、以下の規定に適合しなければならない：

1 一方向流清浄室については、断面平均風速と断面積の方法を用いて送風量を決定し、高効率フィルタから分離すべきである300ミリメートル気流に垂直な断面をテスト平面とします。テストプレーンを等しいグリッドに分割する必要があります。各グリッドのサイズは600mm×600mmまたはエンドエアフィルタのサイズ、測定点はグリッドの中心にあるか、以下ではない 3 点を指定します。各時点のテスト時間は、以下の値を下回ってはならない10秒。平均値、最大値、最小値を記録し、平均風速として算術平均値を使用する必要があります。

2 非一方向フロークリーンルームの場合、各時点のテスト時間は以下のものではありません10秒。

3 各末端エアフィルタフード法などで送風風速を測定して送風量を決定し、各試験位置の測定点数はより少なくてはならない 3 点を指定します。

2 静圧差試験は、以下の規定に適合しなければならない：

1 静圧差の測定はすべてのドアが閉まっているときに行うべきである。

2 計器は各種の型式の微小圧力計を採用するべきで、計器の感度は1.0パ。

3 クリーン工場の建物に複数のクリーンルーム（ゾーン）がある場合は、一番奥の部屋と隣接部屋の差圧試験から開始し、順番に外に測定しなければならない。

4、部屋ごとにポイントを取ってテストする

3. 清浄度の測定は、以下の規定に適合しなければならない：

1 より大きいサンプリングを使用する必要があります1l/分光学粒子計数器は、粒径鑑別能力、粒子濃度適用範囲と計数効率などの要求に基づいて計器を選択しなければならない。機器には有効な標定合格証明書が必要である。

2 最小サンプリングポイントは次のように計算されます。

NL=√A式中 ——最小サンプリングポイント、

（A） -クリーンルームまたは被制御クリーンエリアの面積（平方メートル）。

サンプリングポイントはクリーンルーム（ゾーン）の全面積に均等に分布し、作業領域の高さに位置する必要があります。

3 各サンプリングポイントの各サンプリング量は、次のように決定する必要があります。

VS=[20/Cn、m]はい100

式中 VS ――各サンプリングポイントの各サンプリング量L表示するVS大きい場合は、逐次サンプリング法を使用することができます。各サンプリングポイントの最小サンプリング時間は1分、サンプリング量は少なくとも2L；

Cn、m——被測定清浄室空気清浄度レベルの被測定粒径の限界値（p/m³）；

20 ——被測定粒径粒子の空気清浄度レベル限界値を規定する際に測定できる粒子数（粒）。

各レベルクリーンルームの単一サンプリングポイントサンプリング量計算結果

1. 百級クリーンルーム（例えば 1 作業場、2/3実験室）

˜≥0.5μmパーティクルサンプリング：

· VS=[20/Cn、m]はい100=[20/3520] はい100=0.568L

· 計算結果（0.568リットル）＜2L、強制的に取得する必要があります2L。

˜≥5μmパーティクルサンプリング：

· VS=[20/Cn、m]はい100=[20/29] はい100=68.97リットル

• 実際の実行基準：百級クリーンルームの単一サンプリングポイントは≥68.97Lサンプリング（2種類の粒径を両立）、100L/分カウンタ、サンプリング時間1分

2. 千級クリーンルーム（例えば 5 作業場）

˜≥0.5μmパーティクルサンプリング：

· VS=[20/Cn、m]はい100=[20/35200] はい100=0.0568L

· 計算結果（0.0568リットル）＜2L、強制的に取得する必要があります2L。

˜≥5μmパーティクルサンプリング：

· VS=[20/Cn、m]はい100=[20/293] はい100=6.83リットル

• 実際の実行基準：百級クリーンルームの単一サンプリングポイントは≥68.97Lサンプリング（2種類の粒径を両立）、100L/分カウンタ、サンプリング時間1分

3.万級クリーンルーム

˜≥0.5μmパーティクルサンプリング：

· VS=[20/Cn、m]はい100=[20/352000] はい100=0.00568L

· 計算結果（0.00568L）＜2L、強制的に取得する必要があります2L。

˜≥5μmパーティクルサンプリング：

· VS=[20/Cn、m]はい100=[20/2930] はい100=0.683L

• 実際の実行基準：万級クリーンルームの単一サンプリングポイントを統一して押す≥2Lサンプリング、任意のフローカウンタを使用する場合、サンプリング時間≥1分（例えば100L/分カウンタサンプリングテスト1分）

4、サンプリング回数

サンプリングポイントは以下の値を指定してください2個、総サンプリング回数は以下である5次

4、温度、相対湿度の検出は、以下の規定に適合しなければならない：

1 温度、相対湿度の検出はクリーンルーム（区）内の気流分布が均一な状態で試験し、クリーン空調システムの試運転に合格した後に手配して行うべきである。温度湿度検出はパージ空調システムが稼働しており、少なくとも安定して稼働した後に行うべきである。

2 相対湿度検出では、クリーンワークスペースを等面積メッシュに分割し、各グリッドの最大面積は100平方メートル、各マスに1つの測定点を指定してください。ただし、各ルームは以下の値を指定してください。 2 個の測定点。

3 検出用検出器はクリーンルーム（ゾーン）内の動作高さに設置し、クリーンルーム（ゾーン）からの天井、壁、床は以下のものでなければならない300ミリメートル。クリーンルーム（ゾーン）内に存在する可能性のある熱源の影響を考慮しなければならない。

4 検出時間は少なくとも1.0時間、少なくとも6分行う 1 次（30年代）読数、記録。

5.照度試験は、次の規定に適合しなければならない：

1 クリーンルーム（ゾーン）内の照度測定は携帯型自動記録照度計を採用することが望ましい。

2 照度検出は室内温度が安定し、光源光出力が安定した後に行うべきである。クリーンルーム（ゾーン）照度検出には、生産設備などの局所照明や予備照明は含まれてはならない。

3 照度測定点は作業高さに設置し、地面から離れることが望ましい0.85メートルは、25平方メートル測点を置く。

6、ノイズの検出

E.6.1について一般的には検出のみ可能A音響レベルのノイズは、必要に応じて周波数逓倍距離分析器付きの音響レベル計を採用し、中心周波数 63、125、250、500、1000、2000、4000、8000Hzのオクターブ検出、測定点付近1メートル内部に反射物は存在しない。音レベル計の最小目盛は以下であるべきではない0.2dB（A）。

E.6.2について測点地面からの高さ1.1メートルを選択します。15平方メートル以下のクリーンルームは、測定室中心のみ 1 点、15平方メートル以上のクリーンルーム除センター 1 点の外、再び対角を測定すべきである 4 点、側壁から各1メートル、測定点は各角に向いている。

E.6.3について混合流清浄室の場合は、一方向流領域、非一方向流領域のノイズをそれぞれ測定しなければならない。

E.6.4について条件がある場合、空調浄化システムの運転停止後のフロアノイズを測定することが好ましく、室内ノイズとフロアノイズの差は10dB（A）の場合、測定点値の補正：位相差（6～9）dB（A）時減1dB（A）、差（4～5）dB（A）時減2dB（A）、差3dB（A）時減3dB、差がより小さい3dB（A）で測定値が無効です。

7、判定基準