熱式ガス質量流量計の動作原理は熱拡散効果に基づいており、ガス流と熱源との熱交換関係を測定することによって直接質量流量を取得する。その核心部品は加熱素子(例えば白金抵抗加熱ワイヤ)と温度センサを含み、動作時に加熱素子はガス温度より高く加熱され、ガスが流れる時に熱を持ち去って温度変化をもたらし、一定温度差法あるいは定電力法を通じて温度差と流量の数学的関係を確立する。例えば、恒温差法は加熱電力を動的に調節することにより固定温度差を維持し、消費電力は質量流量に比例する、一方、定電力法則は温度差逆推流量を測定することによって。
この技術は温圧補償が不要で、圧損が小さく、レンジ比が広い(1000:1に達することができる)などの優位性があり、以下の分野に広く応用されている:
1、石油化学工業:腐食性ガス(例えばH̀S)を含む原料ガスの測定は、ハースト合金センサを用いて使用寿命を延長することができる。フレアガス排出監視は、その広いレンジと閉塞抵抗特性を利用する。
2、電力業界:ボイラ燃焼補助空気流量測定はガス配合比を最適化し、エネルギー消費を節約することができ、高炉風量モニタリングによる燃料利用率の向上。
3、環境保護モニタリング:排気ガス排出口はリアルタイムで汚染物総量をモニタリングし、結露防止設計と結合して高湿度環境に適応する。
鄒4、食品医薬鄒:GMP認証を満たす316 Lステンレス鋼材質は窒素ガス流量測定に用いられる。
5、下水処理:曝気槽のガス流量制御による微生物分解汚染物の促進。
現代技術はデジタル通信、温度補償及び耐食性材質(例えばハースト合金)を通じてさらに精度を高め、測定範囲は0.02 ~ 60 m/s流速及びDN 15 ~ 1000管径条件をカバーする。
