ガス用質量流量計の動作原理と特徴

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シャーローデン工業科学技術（上海）株式会社

ガス用質量流量計の動作原理と特徴

日付：2025-06-17読む:0

ガス質量流量計はガスの質量流量を直接測定し、温度と圧力補償を必要とせず、その核心的な動作原理と応用分野は以下の通りである：

一、動作原理

鄒1、熱式原理鄒

鄒恒温差法：センサーは2つの白金熱抵抗を含み、1つは一定温度差（速度センサー）まで加熱し、もう1つはガス温度を検出する。ガスが流れる時に熱を持ち帰り、温度差を維持するために必要な電流増分は質量流量に比例する。

鄒定電力法：加熱電力を一定に維持し、温度差結合ガス定圧比熱容量を測定することにより質量流量を計算する。

鄒適用性：低流速、小管径シーン（例えば半導体製造、実験室微小流量検査）に適合する。

‌2、コリオリの原理‌

高周波振動の測定管をガスが流れるとコリオリ力が発生し、管の位相がずれ、ずれ量は質量流量に比例する。

鄒優勢：精度が高く、気体物性（密度、粘度）の影響を受けない。

鄒制限：コストが高く、体積が大きく、高精度需要シーンに適している。

二、応用分野

‌1、工業プロセスの制御‌

鄒エネルギーと化学工業：天然ガス貿易決算、化学工場反応ガス配合比、アンモニアガス流量モニタリング。

鄒冶金と電力〓高炉ガス計量、ボイラガス/空気送風制御。

‌2、高精度と特殊なシーン‌

鄒半導体製造鄒：エッチングガス、堆積ガスなどのプロセスガスの精密制御。

環境保護モニタリング：煙道ガス排出量測定、メタンガス回収利用。

実験室の研究開発：微小流量ガス実験、流体動力学研究。

‌3、公共施設管理‌

ガス分配計量、配管ガス漏れ検出、水処理中のガス投入制御。

三、核心優勢

鄒1、直接出力質量流量鄒：体積流量計に必要な密度換算と温圧補償を避ける。

鄒2、高適応性鄒：腐食性ガス、混合ガス及びモード変動の複雑な環境に適用する。

鄒3、幅距離比鄒：一部の熱式流量計は低速から高速までの流量範囲をカバーできる。

四、選択の鍵

鄒1、気体特性鄒：清浄度、腐食性、比熱容量。

‌2、運転状況パラメータ‌：管径寸法、流量範囲、温度/圧力限界。

ヒント：腐食性ガスまたは広い温圧変動シーンにおいて、熱式流量計はガスに基づいて較正する必要があり、コリオリ流量計はより高精度な貿易決済に適している。