1、真空ポンプ自体の空気漏れ：

1）シールリングから空気が漏れている。すべてのシール部のシール状況を検査し、破損したシールリングを交換し、

2）エアバラストバルブワッシャが破損している：または締め付けていない。ガスケットを交換し、エア鎮圧弁を締め付けること。

3）排気バルブプレートが破損し、密封がよくない。バルブプレートを交換すること。

4）真空ポンプ中の仕切り板の圧入時の締め付け量が大きすぎて、真空ポンプキャビティが変形して空気が漏れる。真空ポンプキャビティを修理したり交換したりしなければならない、

5）真空ポンプの端面油密封不良による空気漏れ。エンドキャップを取り外し、雑物や不整地がないかどうかを確認し、洗浄または修理を行う必要があります。

2、真空ポンプ油に問題があり、

1）オイルレベルが低すぎる。油量を油標中心線まで十分に加えるべきで、

2）油が汚れ、油質が悪くなる。新しい油を交換し、

3）油のナンバーが合わない。規定番号の真空ポンプ油を交換しなければならない、

4）油路が不通で、真空ポンプ室内に適切な油量を保持していない。油路及び油弁の給油量を検査し、油路の滞りがないようにしなければならない。

3、吸気口のフィルターが塞がれている。フィルターを外してきれいに洗い、それを取り付けなければならない。

4、回転子のスプリングが変形したり折れたりして、回転片の動きが悪い。スプリングの変形を整備または交換し、ロータ積層体の嵌合を良好にし、

5、真空ポンプの温度が高すぎて、

1）被抽気温度が高すぎる。ガスを冷却する後に真空ポンプ内に入るべきであり、

2）硬質物を吸い込んで真空ポンプ本体を摩耗させる。真空ポンプを分解して硬い物を除去し、傷を負った部品を修復または交換し、

3）真空ポンプ冷却水の流れが足りない。冷却水の流量を増やすべきであり、

4）組み立てが不適切で、回転子軸心を変位させ、片面摩耗をもたらす。分解して検査し、再組み立てなければならない。

6、加工不良或いは摩耗により配合隙間が大きすぎる。真空ポンプキャビティ、回転子、回転片、端蓋板間の嵌合隙間を検査し、規定の精度要求を投入して修復または交換する。

7、真空ポンプ運転中の摩擦発熱）温度上昇が高すぎて、真空ポンプ油が薄くなり、密封性が悪くなる。冷却水を通すか、扇風機で温度を下げるとともに、関連部品の嵌合隙間を検査し、規定の精度要求に従って修理または交換する。

真空ポンプの真空度の調整：

多くのマイクロ真空ポンプ自体は真空度を調整する機能がなく、バルブを加えることで調整するしかない。例えば、ポンプの抽気端に精密ブリーダーバルブを連結し、真空度が高いときはバルブを開けて真空度を下げます。この精漏圧弁には有毒なガスを方向性的に放出するなど、容器への通路があり、これは多くのバルブにはない機能である。スマート真空ポンプを使うことができ、ポンプの上にボタンがあり、負圧を設定することができ、液晶パネルに負圧を表示することもできます。また、流量の大きさ、小ささを調節できるつまみもあります。このインテリジェント真空ポンプは交流電流真空ポンプとも呼ばれ、デジタル真空ポンプである。