製造業の発展に伴い、製品の品質と安全性に対する要求はますます高まっている。多くの製造過程では、真空は極めて重要な一環であり、真空システムの漏洩は製品の性能と品質に直接影響を与える。真空システムの信頼性と安定性を保証するために、オンライン真空減衰検出技術が誕生した。
オンライン真空減衰漏れ検出技術は、真空システムにおける減衰速度を検出することにより、システムに漏れがあるかどうかを判断する方法である。その原理は次の2点に基づいている：
真空システムの減衰速度は漏れ量に比例する：真空システムに漏れが存在する時、システム内のガスは絶えずシステムに入って、システムの真空度の低下を招いて、減衰速度は増加する。したがって、真空システムの減衰速度を監視することにより、間接的にシステムにリークがあるかどうかを判断することができる。
真空システムの減衰速度は多種の要素の影響を受けている：漏れのほか、真空システムの減衰速度はガス吸着、脱気、システム自体の漏れなどの要素の影響を受けている。そのため、オンライン真空減衰漏れ検出技術は、システムに漏れがあるかどうかを正確に判断するために、これらの要因の影響を考慮し、排除する必要があります。
オンライン真空減衰漏れ検出技術は各種真空システムの品質制御と検査に広く応用され、特に以下のシーンに適用される：
航空宇宙機の真空システムは漏洩に対する耐性が極めて低いため、システムの信頼性と安全性を確保するために高精度な漏洩検出技術が必要である。半導体装置の製造過程では超高真空環境下で行う必要があり、真空システムへの漏洩要求が厳しいため、オンライン真空減衰漏れ検出技術は不可欠なツールとなっている。医療機器における真空システムは患者の生命安全にとって極めて重要であるため、装置の信頼性と安全性を確保するためには信頼性の高い漏洩検出技術が必要である。
オンライン真空減衰漏れ検出技術は従来の漏れ検出方法に比べて以下のいくつかの利点がある：
オンライン真空減衰漏れ検出技術は真空システムの減衰速度をリアルタイムで監視することができ、システム中の漏れをタイムリーに発見し、漏れが生産過程に与える影響を減少させた。微小な漏洩を検出することができ、漏洩検出の感度と正確性を高めることができる。真空システムに破壊的な検出を行う必要はなく、システムの正常な動作に影響を与えず、検出コストとリスクを低減する。自動化された生産ラインと組み合わせることができ、漏洩検査の自動化とインテリジェント化を実現し、生産効率と製品品質を向上させることができる。