ドイツのツァイスGeminiSEM電界放出走査電子顕微鏡-ワルプル汎用

長い間、蔡司電界放射走査電子顕微鏡GeminiSEMは高分解能と広いサンプルの適用性の代名詞であった。研究の方向性にかかわらず、GeminiSEMはニーズを満たすことができます。革新的な電子光学系と新しいサンプルチャンバ設計により、画像品質、使いやすさ、柔軟性が向上します。蔡司電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEMは優れたイメージングと分析能力を兼ね備えており、浸漬式対物レンズに頼らずに1 kV以下のサブナノスケール分解能を容易に実現することができる。以下の内容は、Gemini電子光学系の3つのユニークな設計をさらに理解し、蔡司電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEMの応用可能性を探ることができます。

• より柔軟なイメージングツール–Gemini 1鏡筒を搭載した蔡司電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEM 360は、さまざまなサンプルの高分解能イメージング、分析、およびさまざまな応用ニーズの開拓を実現することができる。

• より強力な分析能力-Gemini 2鏡筒を搭載した蔡司電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEM 460は、より複雑な分析作業に対応することができる。連続的に調整可能な大きなビームフローにより、イメージングと分析条件をシームレスに切り替えることができます。

• より高度な特性評価体験-蔡司電界放出走査型電子顕微鏡GeminiSEM 560にはGemini 3鏡筒とその新型電子光学エンジンが搭載されており、さまざまな動作条件の下でこのシリーズの最も優れた解像度特性を発揮できるようになっている。

製品ファミリ

3つのモデルのすべての詳細については、アプリケーションのニーズに合ったモデルを選択してください。

ツァイス電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEM 360

ツァイス電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEM 460

ツァイス電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEM 560

シュトゥットガルト大学応用量子技術センターZAQuantのMario Hentschel博士は、このグループが研究している課題と応用、実験室で直面している挑戦、蔡司電界放射走査電子顕微鏡GeminiSEM 560をどのように利用してこれらの挑戦に対応するかを述べた。

「私たちは光学誘導と検出応用の中で最も複雑な微細構造とナノ構造を研究しています。そのため、私たちはナノスケールで私たちのデバイスを検査し、特性化しなければなりません。サンプル情報を深く理解することはプロセス制御と最適化の核心であるだけでなく、誘導と検出方案に関連する局所現象を説明する際にも欠かせません。単純な表面形態情報のほかに、ナノ材料組成物と意図的で意図的でない局所不純物にも興味を持っています。

「これらのすべての応用には、電子顕微鏡の高分解能とサンプル適用性が必要です。蔡司電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEM 560はこの2点をうまく両立することができます。それは豊富な検出器選択を提供して、それによって表面の高低起伏、材料のライニング、表面のエッジ及びサンプルのすべての異なる特徴をイメージングして強調表示することができます。日常的な仕事の中で、私たちは常に形状の大きさや材料の組成の違いなどの大きなサンプルに直面して、顕微特徴付けに大きな挑戦をもたらしました。高絶縁性ポリマーやプラスチックなどの極めて過酷で難易度の高いサンプルに対して高品質な画像を撮影することができ、荷電効果の影響を極小化することができます。このシステムは、低倍率および極めて高い倍率で画像化することができる。近い将来、電界放出走査型電子顕微鏡GeminiSEM 560は、シュツットガルト応用量子技術センター（ZAQuant）の新築研究ビルのクリーンルームに設置される。ZAQuantの主な研究者は物理、機械、電気工学、化学などの異なる分野から来ており、その応用は千差万別であるため、優れたイメージング性能を維持するだけでなく、サンプルの適用性を確保しなければならない。そのため、電界放出走査電子顕微鏡GeminiSEM 560は間違いなく実験的特徴づけの利器になるだろう。”

DE.Mario Hentschel博士、ドイツ・シュツットガルト大学第4物理研究所と応用量子技術センター。