蔡司AxioイメージャVario

ネゴシエーション可能更新02/05

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製品詳細

製品の紹介

大規模サンプルの自動プロセスをチェックする-クリーンルームと互換性があります。
マイクロMEMSセンサ、XXLウェハとその中間にあるすべてのものを検査します。
最大試験片の寸法は300×300 mm、最大試験片の厚さは254 mmであり、これは大型試験片を分析する無傷方法である。
柱の設計は安定性を確保した。
クリーンルームでウエハをチェックする：Axio Imager VarioはDIN EN ISO 14644-1認証であり、クリーンルームレベルISO 5の要件を満たしています。
電動z軸駆動やオートフォーカスシステムとは、低コントラストをもたらし、標本を完璧な焦点に反射することができます。
これにより、毎回最適な結果が得られます。
必要に応じて構成
けんびきょう
Axioイメージャ。
A 2 Vario（手動、エンコード）
Axioイメージャ。
Z 2 Vario（完全電動化可能）
Axioイメージャ。
Z 2 Vario（砲塔焦点なし）
照明方法しょうめいほうほう
反射光はんしゃひかり：明るいフィールド、暗いフィールド、DIC、C-DIC、偏光、
けいこう
透過光：明るいフィールド、暗いフィールド、DIC、PlasDIC、偏光、位相コントラスト
しょうめい
反射光：LED，ハロゲン、HBO, XBO
透過光：LED、ハロゲン
部品
オートフォーカス、リニアセンサー、手動および電動ステージ
簡単です。もっと頭がいい。より多くの統合。

•最大試験片サイズ300×300 mmと印象的な最大試験片厚さ254 mmを用いて無傷分析を行った。
•重いサンプルを処理しても、LSM 700レーザー走査顕微鏡と組み合わせて作業しても、堅牢なカラム設計は安定しており、振動に依存して防止することができます。
•axio Imager VarioはDIN EN ISO 14644-1認証であり、クリーンルームレベルISO 5の要件を満たすクリーンルームキットを備えている。
•反射光を検出し、低コントラストのサンプル表面に、Axio Imager Varioの高速かつ効率的なオートフォーカスシステムを搭載しています。
そして、最大の標本がXとy軸に沿って完全な焦点を移動したままであっても。
アプリケーションの作成
•広い旅行範囲のため、太陽電池表面の均一性と微小割れをチェックできます。
•クリーンルームキットとオートフォーカスを使用して、ウェハ上の粒子、スクラッチ、欠陥を識別します。
•反射光と透過光におけるTFTディスプレイの画素欠陥を識別する。
•マスクホルダを使用して、マスクに過剰なクロム膜と粒子がないかどうかを確認します。