Park Systemsパーカー原子間力顕微鏡XE 15

世界の優れた精度と強力な機能公園原子間力顕微鏡製品の特性

Park

XE 15は複数の特殊な機能を備えており、共有実験室が各種サンプルを処理し、研究員が多変数実験を行い、故障アナリストがウェハを研究するなどの2つ目の選択肢である。合理的な価格と強力な性能設定を組み合わせて、業界的な価格比*の高い大型サンプル原子間力顕微鏡にする。マルチサンプル™^{（多重サンプリング}TM

）スキャナーによる*便利なサンプル測定

マルチサンプル一括自動イメージング

特殊設計のマルチサンプルチャック、*16個の独立したサンプルを積載可能

全自動XYサンプルステージ、ストローク範囲は200 mmx 200 mmに達する。

軸間結合なしで走査精度を向上

2種類の独立閉ループXYとZ平板式走査

平板式と線形XY走査は100μmx 100μmに達することができ、残留曲げが小さい

全走査範囲における異面移動は2 nm未満であった

25μm Z走査範囲に達する強力スキャナ

**の高さ測定非接触™^{（真の非接触}TM

）モード針先の寿命延長、サンプル保存及び精度改善

そのZ走査周波数幅は圧電管基礎システムの10倍である

非接触式は針先摩耗を低減し、使用寿命を延長することができる

イメージング分解能は同種の原子間力顕微鏡より高い

サンプル干渉を低減し、走査精度を向上

*優れたユーザーエクスペリエンスを提供

オープンサイドアクセスにより、サンプルおよび針先交換効率を向上

プリアライメントされた針先の取り付けと無二の軸上平面視法により、レーザーアライメントを簡単かつ直感的に実現することができる

ダブルテールロックシールはレンズの取り外しに便利である

インタフェースは自動設定機能付きで、ユーザーが使いやすい

複数のモードとオプション

総合的な測定モードと特性設定は、弊社*佳通用型原子間力顕微鏡

多種のオプション部品と更新、拡張性能が優れている

欠陥分析に先進的な電気測定を提供する

製品の特徴100μm x 100μm走査範囲のXY柔らかい‘

ステアリングスキャナXYスキャナーはシステムの2次元曲げと強力な圧電スタックを含み、極小平面外移動は大きな直交運動を形成する

を選択し、迅速に応答して**のサンプルナノスケール走査を実現することができます。フレキシブルガイド強力Z

スキャナ

強力な圧電スタックの駆動及び曲げ構造の案内の下で、その硬度はスキャナーの高速垂直運動を可能にし、従来の原子間力顕微鏡スキャナーより高速である。*大Z型走査範囲とリモートZスキャナ（オプション）を組み合わせると、12μmから25μmまで延長できます。

スライド接続された超明るいダイオードヘッド

原子間力顕微鏡レンズをくさび軌道に沿ってスライドさせることで、簡単に挿入または取り出しができます。低コヒーレント超発光ダイオードヘッドは、高反射面の**イメージングと力−モーメントスペクトルの**測定を実現することができる。超明るいダイオードヘッドの波長は干渉問題を軽減するのに役立つため、ユーザは可視スペクトル実験においても本製品を使用することができる。

マルチサンプルチャック

特殊に設計されたマルチサンプルチャックは、16個の独立したサンプルを積載することができ、マルチサンプリングスキャナによって自動的に順番にスキャンされる。特殊なチャックは、サンプル針の先端に接触するためにエッジチャネルを予約するように設計されている。オプションエンコーダのXY

じどうしりょうテーブル

自動統合XYステージは、サンプルの測定位置を容易かつ**に制御します。XYサンプルステージのストローク範囲は150に設定可能

mmx 150 mmまたは200 mmx 200 mm。自動ステージと組み合わせてエンコーダを使用すると、サンプルの位置決めの**度と再現性を高めることができます。エンコードXYステージ動作時の分解能は1μm、繰返し率は2μmである。符号化Zステージの解像度は0.1

μm，繰返し率は1μmであった。高解像度デジタルズーム感光素子カメラ高解像度デジタル感光素子カメラは、直接同軸光学を利用して、ズーム機能を備えており、パン撮影の有無にかかわらず画像の鮮明な結像品質を確保することができる。

垂直方向に配置された自動

Zステージ及びフォーカスステージZステージとフォーカスステージはカンチレバーをサンプル表面に噛合することができ、同時にユーザーの視界が明確に安定することを確保する。フォーカスステージはソフトウェアによって自動的に動作するように制御されているので、透明サンプルおよび液状要素の応用に必要な精度を満たしています。ベンドベースデカップリングXY

和

ZスキャナZスキャナとXYスキャナは完全に解凍されている。XYスキャナーは水平面上でサンプルを移動し、Zスキャナーはプローブを垂直に移動します。この構成は*ファセット移動で実装されました平板式XYスキャン

。このXYスキャンには、

高い直交性と線形

。

業界内*低バックグラウンドノイズ小さなサンプルの特性を検出するために、*高速運動平面イメージングを支援します。ParkSystemsは、業界内で0.5 A以下の*低バックグラウンドノイズ標準デバイスを設計した。ゼロスキャンを使用してローカルノイズデータを検出します。

真の非接触モードは針先の寿命を延長するXEシリーズ原子間力顕微鏡は、れんが利強力Z走査システム独自の真の非接触モードを組み合わせることに成功した。真の非接触モードでは、排斥ではなく吸引を使用しています内部原子力

。

したがって、真の非接触モードは、針先サンプルのナノスケール間隔を維持することに成功し、原子間力顕微鏡画像を改善し、針先の鋭利さを維持するため、針先の寿命を有効に延長

。

プリアライメントカンチレバーサポートプローブ支持体に予め取り付けるので不要レーザービームを厳密に位置合わせします。

高分解能の直接同軸光学素子ユーザは直接試料を平面視し、試料表面を操作することができ、ターゲットエリアを簡単に見つけることができます。高解像度デジタルカメラはズーム機能を備えており、パン撮影の有無にかかわらず画像の鮮明な撮像品質を確保することができる。帯

DSP

制御チップの

XE

制御電子部品

原子間力顕微鏡によるナノスケール信号は高性能Park

XE電子部品を制御して処理する。Park

XE電子部品は低ノイズ設計で、高速処理ユニットを搭載し、真の非接触を実現することができる™モードは、ナノスケールイメージング及び電圧電流精密測定の理想的な選択である。

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600 MHz、4800 MIPS速度の高性能処理ユニット