Park Systemsパーカー原子間力顕微鏡NX 20

交渉可能更新03/22

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

コアパラメータ：サンプルテーブル移動範囲：150 mm*150 mm（オプション200 mm*200 mm）サンプルサイズ：直径≦150 mm（オプション200 mm）産地別：輸入機器

製品詳細

優れたナノ測定ツールによるアシスト欠陥分析と大型サンプル研究

欠陥分析エンジニアとして、あなたの任務は結果を提供することです。あなたの機器が提供するデータは、間違った存在を許すことはできません。Park

NX20，このグローバル*精密な大型サンプル原子間力顕微鏡は、優れたデータ精度により、半導体やハードディスク業界で称賛されています。

より強力な欠陥解析ソリューション

Park

NX 20には、機器の欠陥の原因を簡単に特定し、よりクリエイティブなソリューションの作成を支援するための機能があります。****の精度は高解像度データをもたらし、より仕事に集中できるようにします。その一方で、True

Non-Contact™（真の非接触）スキャンモードにより、頻繁に交換するために多大な時間と**を費やすことなく、プローブ**をより鋭利かつ耐久性にすることができます。

操作が簡単で入門エンジニアの福音

Park NX 20には、業界*のフレンドリーな設計と自動インタフェースがあり、使用に多大な時間と労力を費やす必要がなく、その際に初級エンジニアを監督する必要もありません。この一連の特徴により、より重大な問題の解決に集中し、お客様にタイムリーで洞察力のある失効分析を提供することができます。

技術情報：三次元構造研究の側壁測定NX 20の**構造により、サンプルの側壁と表面を検出し、角度を測定することができます。多くの機能と用途は、**的な研究と深い洞察力に必要です。

ひょうめんあらさそくてい

媒体とマトリックス

表面粗さ測定はPark NX 20の重要な応用の一つであり、**の欠陥分析と品質保証をもたらすことができる。

高分解能電気走査モード*高速走査型容量顕微鏡

横方向摩擦を伴わない導電性原子間力顕微鏡

真のサンプルトポグラフィー™

真のサンプルスキャン）、圧電クリープをトレースしない我々の原子間力顕微鏡は*有効な低雑音Z軸検出器を備えており、広雑音帯幅はわずか0.02であるnm。これにより、オーバーシュートの影響を受けず、キャリブレーションを必要としない超**サンプルの形態をもたらすことができます。これは、Park原子間力顕微鏡が時間を節約し、より良いデータをもたらす方法の1つにすぎません。

技術的特徴：

2 Dフレキシブルガイドスキャナ、超大型

100

ミクロメートル x 100 ミクロメートル

そうさはんい

XY軸スキャナーは対称的な2次元フレキシブルと高強度圧電スタックを含み、平面外運動*が少ないまま、高直交運動とナノスケールサンプルスキャン下の高応答性を実現することができる。低雑音位置センサ業界に優れた低ノイズZ軸検出器は、サンプル信号としてZ電圧を代替する。また、低ノイズXY閉ループ走査は、順走査と逆走査ギャップを走査範囲の0.15%以下に低減することができる。

ステップ走査自動化

電動サンプルテーブルを用いて、ステップスキャンモードは、ユーザ自身がマルチエリアイメージングをプログラムすることを可能にする。この自動化機能により、イメージングを繰り返すことでユーザーの作業が軽減され、生産性が向上します。

摺動接続超放射発光ダイオード

（SLD）24レンズ自動着脱

燕尾式軌道設計で、原子間力顕微鏡レンズを簡単に交換することができます。この設計では、レンズを事前に位置合わせされた位置に自動的にロックし、制御電子部品に接続することができますが、繰り返し位置決め精度は数ミクロンしかありません。超放射発光ダイオード（SLD）の低コヒーレンスを利用して、顕微鏡は高度な反射面を**イメージングし、ピコ−Newton力対距離スペクトルを精密に測定することができる。また、超放射発光ダイオードの波長も干渉問題を解決し、可視スペクトル実験で原子間力顕微鏡を自由に使用できるようにした。^{上等走査プローブ顕微鏡モードとオプション拡張スロット}オプションのモジュールを拡張スロットに挿入するだけで、上等走査プローブ顕微鏡モードをアクティブにすることができます。NXシリーズ原子間力顕微鏡のモジュール化設計のおかげで、その製品ライン製品の互換性は大幅に向上した。

高速ディジタル電子制御装置すべてのNXシリーズの原子間力顕微鏡は、同じNX電子コントローラによって制御され、処理されています。このコントローラはフルデジタル、24ビット高速電子ユニットであり、Parkを確保することができるTrue Non-Contact24TM

モードにおける撮像精度と速度。低ノイズ設計と高速処理ユニットにより、このコントローラはナノスケールイメージングと**電圧電流測定のための好ましい選択である。埋め込み式デジタル信号処理は原子間力顕微鏡により豊富な機能をもたらし、性価比をさらに向上させ、上等研究員の*良い選択である。

和

軸検出器の

ビット信号ソリューション

XY軸（50

μm）の分解能は0.003

nmZ軸（15μm）の分解能は0.001nm埋め込みデジタル信号処理機能

3チャネル柔軟デジタル位相同期・ばね定数補正（熱測定法）

ディジタルQ制御統合信号ポート専用プログラマブル信号入出力ポート

7つの入力ポートと3つの出力ポート

高速