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アドレス
上海徐匯区宜山路705号科学技術ビルA座501 B室
製品カテゴリー
甘沃実業（上海）有限公司
概要
Park Systems原子間力顕微鏡NX 10、**の機能は**の仕事を満たす。コアパラメータ：機器種類：原子間力顕微鏡試料台の移動範囲：20 mm*20 mm試料サイズ：直径≦50 mm、厚さ≦20 mm位置決め測定ノイズ：X-Y≦0.25 nm、Z≦0.03 nm産地種類：輸入機器
製品詳細
正確なイメージング,クロスカップリング現象
業界に優れたXYZ軸線性度、サンプルとプローブはそれぞれ独立したフレキシブル誘導スキャナによって移動を制御する
*低平面オフセット、全行程水平走査時の平面オフセット量は1ナノメートルを超えない
垂直スキャナが全行程伸縮する場合、線形度は0.015%より優れている
最適化された水平スキャナリング現象、科学的な順方向sine-scanアルゴリズム
正確なスキャン、真の非接触モード
業界に優れた垂直スキャナーで、帯域幅は9 kHzを超え、プローブの垂直サーボ応答速度は62 mm/secを超える
非接触モードでの*高速スキャン速度
極めて低いプローブ摩耗により、長時間の高品質走査を保証することができる
極めて低いサンプル損傷
正確な測定、真のサンプル形態
業界に優れた低雑音ヒステリシス検出器を用いてサンプルの形態を測定する
業界に優れた極小正逆測定偏差量、0.15%未満
最適化された放熱部品を採用し、システムの熱ドリフトとヒステリシス現象を大幅に低減
高性能な先進的な防音カバー、ハッチ内部のアクティブな温度制御ユーザーの生産性
プローブとサンプルの交換に便利なオープン設計
プローブ所定位置クランプ設計、簡単で便利な測定レーザー調節過程、煉瓦利得を有する上から下までの直観観察システム
**の「10秒針送り」機能により、プローブは自動的に高速に針送り操作を完了
24ビットデジタル制御ボックス、3組の内蔵ロック格納器、Q-controlと弾性定数較正機能を備える
技術仕様
XYスキャナ
閉ループ制御式シングルモジュールフレキシブルXYスキャナ
スキャン範囲：50
μm×50μm（オプション100
μm × 100 μm)
解像度:
0.05 nm位置決め検出ノイズ：<0.3 nm（帯域幅：1 kHz）
水平線形：<2 nm（over 40
μm scan)
Z
スキャナ
フレキシブルブートハイパワースキャナ
スキャン範囲：15
μm（オプション30μm）
解像度:
0.015 nm
位置決め検出ノイズ：0.03 nm（帯域幅：1 kHz）
共振周波数：
> 9 kHz (typically 10.5 kHz)
表面撮像ノイズ：＜0.03 nm（0.02 nm typical）
光学系
試料とプローブを観察できる直視同軸光学系
视场: 480
× 360 μm（10×オブジェクティブレンズ）
CCD：1 M画素（画素解像度：0.4μm）
対物レンズ
10 x（0.21 NA）超長動作範囲のレンズ（1μm解像度）
20 x（0.42 NA）高解像度長動作範囲レンズ（0.6μm解像度）
しんごうしょり
ADC：18チャネル
4つの高速ADCチャネル（50 MSPS）
X，YおよびZスキャナ位置決めセンサの24 bit ADCs
DAC：12チャネル
2つの高速DACチャネル（50 MSPS）
X，YおよびZスキャナが位置決めする20-bit DACs
