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上海珩沢科技有限公司
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Park NX 10原子間力顕微鏡

ネゴシエーション可能更新09/26
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概要

革新的な研究のための理想的な選択肢ParkNX 10は、信頼性、使用性、所有性の高いナノスケール解像度のデータを提供します

製品詳細

革新的な研究の理想的な選択肢

Park NX 10は、信頼、使用、所有に値する高精度のナノスケール解像度データを提供します。サンプル設定からフルスキャンイメージング、測定、分析まで、Park NX 10は革新的な研究に専念することを保証します同時に高精度なデータを提供します。


高精度測定

・低雑音Z検出器による原子間力顕微鏡の表面形態の正確な測定

・スキャナクロストークの除去による正確なXYスキャン

・True Non-ContactTMモードは、最適なプローブ寿命、高分解能スキャン、およびサンプルの保護を保証する

・個性的に設計されたハードウェアとソフトウェア機能

Park NX 10原子間力顕微鏡の低雑音Z検出器

Z軸検出器は新しいNXシリーズ原子間力顕微鏡の核心技術の一つである。Parkの革新的な歪みセンサーです。0.2オングストロームの低雑音で一躍、業界内の雑音の低いZ軸検出器となった。低雑音はZ軸検出器をデフォルトの形態信号とすることができ、新しいNXシリーズ原子間力顕微鏡と先代の原子間力顕微鏡の違いが容易に観察できる。Z軸検出器のノイズが高すぎると、ユーザはサファイアウエハの原子ステップを見ることができない。Park NXシリーズ原子間力顕微鏡のZ軸検出器が発する高度な信号は、Z軸電圧の形態と同じノイズレベルである。

簡単なプローブとサンプル交換

独自の設計により、手で側面から新しいプローブやサンプルを簡単に交換できます。片持ちプローブチャックに予め位置合わせされた片持ちアームを取り付けることにより、煩雑なレーザーキャリブレーション作業を行う必要がなくなります。

稲妻のように速い自動近針

自動プローブサンプル注入機能により、ユーザーは介入操作を行う必要がなくなります。カンチレバーが表面に接近する反応を監視することにより、Park NX 10は、カンチレバー搭載後10秒以内にプローブサンプルの針入れ動作を開始し、自動的に迅速に完了することができる。高速Z軸スキャナの高速情報フィードバックとNX電子コントローラの低ノイズ信号処理により、ユーザの介入なしにサンプル表面に迅速に接触することができる。

Park NX 10技術パラメータ

スキャナ

Zスキャナ

フレキシブルブート高推力スキャナ

そうさはんい:15µm(オプション30µm)
こうどしんごうざつおんレベル午後30分
0.5 kHz帯域幅、rms(典型)

XYスキャナ

閉ループ制御のフレキシブルガイドXYスキャナ

そうさはんい: 50 µm × 50 µm
(可选10 µm × 10 µm或 100 µm × 100 µm)

くどうだい

Zシフトテーブルストローク範囲: 25 mm (モーター化)
フォーカスサンプルテーブルストローク範囲: 15 mm (モーター化)
XY変位テーブルストローク範囲:20 mmx 20 mm(Motorized)

サンプルラック

サンプルサイズ:オープンスペース 100 mm x 100 mm まで、厚度 20mm まで
サンプル重量 :< 500=''>

光学

10倍(0.23 N.A.)超長動作距離レンズ(1µm解像度)
サンプル表面とカンチレバーの直観同軸画像
視野:480×360µm(10倍対物レンズ付き)
CCD:100万画素、500万画素(オプション)

ソフトウェア

スマートスキャン™

AFMシステム制御とデータ収集のための専用ソフトウェア
スマートモードの高速設定と簡易イメージング
手動モードの高度な使用とより精密なスキャン制御

XEI の

AFMデータ解析ソフトウェア

でんし

統合機能

4チャネルディジタル位相同期増幅器
だんせいけいすうこうせい(熱方法、オプション)
データ#データ#Q制御

外部信号の接続

組み込み型入出力ポート×20
5つのTTL出力:EOF、EOL、EOP、変調と交流バイアス