マイクロミラーアレイ

このシリーズの製品はマイクロミラーアレイであり、マイクロ光機械電気ビーム偏向ミラーを用いて構成された鏡面整列である。適用波長は深紫外から近赤外（DUV to NIR、193 nm ~ 1500 nm）まで可能である。ミラーは256×256個のマイクロミラーで構成することができ、各ミラーは16 um*16 umである。スキャン周波数は1 KHzに達することができます。パターンの生成、プログラマブルマスク板などとして使用できます。

Example of micro mirror array for extended spectral range
„256 x 256 micro mirrors
„ 16 μm x 16 μm mirror pitch
„ Frame rate 1 kHz
„ Analogue mirror tilting
„ Illumination wavelengths : 193 … 1500 nm

Applications
„Pattern projection (real time grey levels)
„ Programmable masks
„ Structured / programmable illumination