マイクロメカニカルレーザ走査鏡

ネゴシエーション可能更新03/18

モデル

メーカーの性質: 生産者

製品カテゴリー

原産地

オンライン相談

概要

このシリーズのマイクロメカニカルレーザ走査ミラーは、1 D製品と2 D製品に分かれています。すなわち、その走査軸が1軸または2軸であることによって異なります。このようなマイクロ光機械電気ビーム走査ミラーは、マイクロ走査ミラーまたはマイクロ光機械電気ビーム偏向器とも呼ばれる。

製品詳細

このシリーズのマイクロメカニカルレーザ走査ミラーは、1 D製品と2 D製品に分かれています。すなわち、その走査軸が1軸または2軸であることによって異なります。このようなマイクロ光機械電気ビーム走査ミラーは、マイクロ走査ミラーまたはマイクロ光機械電気ビーム偏向器とも呼ばれる。
The mirror plate of the microscanner performs a continuous, harmonic oscillation. The oscillation is excited electrostatically and utilizes planar electrostatic comb drives. The oscillation-frequency has to be close to the natural frequency of the scanning axis. Adjusting the driving voltage or the driving frequency allows setting and controlling the
oscillation amplitude. For 2D devices, the mirror plate is gimbal-mounted. The resonance frequency of each axis is determined by design independently. Each axis is excited individually. Thus, the ratio of the oscillation amplitudes and the phase difference can be set and controlled arbitrarily.

Technical Properties

Mirror Motion	harmonic oscillation
Scan Frequencies	depending on configuration type and design parameters 100 Hz - 50 kHz
Drive Signal	A square wave voltage input signal is required which can be generated with standard laboratory equipment - a power supply unit is not in standard scope of delivery with VarioS®-microscanner-demonstrators. 1D- VarioS®-microscanner-demonstrators can be delivered with the Laser Deflection Cube as an option. Alternatively customer specific drive electronics and system designs can be delivered as result of a research and development project from Fraunhofer IPMS.
Amplitude	up to ±29° maximum mechanical deflection, amplitude controllable via electrode voltage and input pulse frequency
Drive Mode	electrostatic-resonant
Drive	planar comb electrodes with out-of plane motion
2D Axis Configuration	gimballed
Position Sensors	no position sensor integrated
Mirror Shape	circular
Mirror Diameter / 1D-Microscanner	0.5 - 3 mm
Mirror Diameter / 2D-Microscanner	0.5 - 2 mm
Mirror Reflectance	dependent on wavelength of light source, approx. 80-92% (see Fig. 1)for visible range
Chip Dimensions	5370 µm x 4540 µm

同類製品の推奨