モジュール化されたSEMプラットフォームは直感的な操作、定期的な検出、研究応用に適している

EVOシリーズは高性能の走査型電子顕微鏡と直感的で友好的なユーザーインターフェース体験を結合し、同時に経験豊富なユーザー及び新規ユーザーを引き付けることができる。ライフサイエンス、材料科学、または通常の工業品質保証と失効分析の分野でも、幅広いオプション構成により、EVOはあなたの要求に合わせてカスタマイズすることができます。

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• 顕微鏡センターまたは工業品質保証実験室の多機能ソリューション

• 異なる真空チャンバサイズとすべてのアプリケーション要件を満たすためのステージオプション-大規模な産業用部品サンプルでも

• LaB 6フィラメントを用いることで、優れた画質を得ることができる

• 非導電性および非導電性コーティングの試料のイメージングおよび分析性能に優れている

• さまざまな顕微分析アプリケーションのニーズに対応するために、さまざまな分析プローブを構成することができます

利点

便利な可用性

SmartSEM Touchは、指先を使ってインタラクティブなワークフローを制御することができます。それは簡単で学びやすく、トレーニングにかかる努力とコストを大幅に削減し、新しいユーザーも数分以内に驚くべき画像をキャプチャすることができます。このユーザーインタフェースでは、再検査可能なタスクを実行するためにワークフローを自動化する必要がある産業用オペレータもサポートしています。

優れた画質

EVOは、未処理で導電性コーティングが施されていないサンプルに対して高品質なデータを得ることが得意である。EVOはまた、サンプルがその元の状態を保持し、含水と重汚染サンプルのデータ品質を維持することを許可した。また、撮像と微量分析が課題に直面している場合、LaB 6フィラメントを選択すると、より良い解像度、コントラスト、信号対雑音比を与えることができます。

EVOは他のデバイスと関連付けることができる

EVOは半自動、マルチモードワークフローの一部として、関心のあるエリアを再配置し、複数の方法でデータを収集することにより、情報の完全性を形成することができる。光学と電子顕微鏡画像を結合して材料特性評価や部品検査を行うか、EVOとツァイス光学顕微鏡を関連させて関連粒度分析を行う。

より多くのユーザー操作に対応

経験豊富で初心者のユーザーにとっても操作が容易

実際の実験室環境では、SEMの操作は通常、顕微鏡専門家の専属分野である。しかし、非専門家レベルのユーザーにとって、SEMを操作することは、学生、受講者、品質エンジニアなどの課題となり、SEMからデータを取得する必要があることもよくあります。EVOはこの2種類のユーザーのニーズを同時に考慮し、ユーザーインタフェースオプションは経験のある顕微鏡専門家を満たすことができ、非専門ユーザーの操作ニーズを満たすことができる。

エキスパートユーザ

好ましいユーザーインタフェース：SmartSEM

専門家ユーザは、高度な撮像パラメータおよび解析機能を取得および設定することができる。

SmartSEM：経験のあるユーザーのための制御インタフェース

初心者ユーザー

好ましいユーザーインタフェース：SmartSEM Touch

初心者ユーザーは、事前に定義されたワークフローと一般的なパラメータのいくつかを使用できます。初心者に最適です。

SmartSEM Touch：タッチスクリーンコンピュータ上で動作するシンプルなグラフィカルユーザーインタフェース

インテリジェントなナビゲーションとイメージング

サンプルのテスト効率を大幅に向上させ、より多くのデータを生成

蔡司ナビゲーションカメラ

カメラは、試料と後方散乱検出器及び対物レンズの下端との間の相対位置（チャンバカメラ）を監視するためにチャンバの前方に設置することができ、あるいは真空チャンバドアの上に取り付け（ナビゲーションカメラ）、サンプル台上のサンプルの配置位置を平面図で見る。このビューを使用して、光学顕微鏡画像から認識される事前定義された位置を設定し、サンプルテスト全体を簡単にナビゲートすることができます。

自動インテリジェントイメージング

EVOはサンプルのロット自動、無人の画像収集を実現した。蔡司自動化知能イメージングは定例検査に最適である。これにより、ユーザーは境界領域をカスタマイズし、必要なビューまたは倍率で決定された関心領域を自動的に生成し、画像の自動取得を開始することができます。自動化されたスマートイメージングにより、サンプルのテスト効率が大幅に向上し、より多くのデータが生成されます。

研究を階層化

六ホウ化ランタン電子放出器を用いてより良い画像を得ることができる

六ホウ化ランタン陰極は、従来のタングステンヘアピンフィラメントから放出される電子に比べて、必要な画像品質を保証することができます。このような利点は、次の2つの側面に表れています。

• 等しい電子プローブサイズ（すなわち分解能）では、より多くのプローブ電流を使用することができ、画像のナビゲーションと最適化を容易にすることができます

• 等しいプローブ電流（信号対雑音比）では、スポット径がより小さくなり、画像解像度が向上する
  

低加速電圧で高増幅倍率の触媒粒子（左：タングステンフィラメント使用、右：LaB 6フィラメント使用）
挑戦的な撮像条件の下で、LaB 6フィラメントを使用するユーザーは10倍の光束輝度を持ち、画像解像度とコントラストを向上させる。

EVOは他のデバイスと関連付けることができる

ワークフローの自動化と関連顕微鏡のメリット

Shuttle&FindはEVO、光学顕微鏡とデジタル顕微鏡を1つの関連する、マルチモーダルワークフローを構成する

ツァイスはさまざまなタイプの顕微鏡と計量システムの優れたベンダーであるため、EVOとツァイスの他のソリューションを組み合わせることもでき、その機能をよりよく発揮することができます。

Shuttle&Find（ツァイス関連顕微鏡のソフトハードウェア部分）を使用することで、（デジタル）光学顕微鏡とEVOの間に効率的なマルチモード併用のワークフローを構築することができます。光学顕微鏡の独特な光学コントラスト方法と同様の独特な走査電子顕微鏡イメージングと分析方法を組み合わせて、相補的なデータを得て、それによってサンプルの材料、品質または故障メカニズムをより明確に理解する。

蔡司SmartEDX

従来のSEM顕微鏡分析応用のための一体化EDSソリューション

SEMイメージング技術だけでは部品やサンプルを完全に理解できない場合、研究者はエネルギースペクトル計（EDS）を用いて元素化学成分の空間分布情報を収集する。

• 従来の顕微分析アプリケーションに最適化

SEMとEDSの組み合わせは慎重に考慮しなければならない。EVO上のSmartEDXは通常の顕微分析アプリケーションに適しており、特にデータの重複性が要求されるお客様にとって理想的な選択です。129 eVエネルギー分解能と1−5 nAプローブ電流（典型的なEVO動作条件）で高いフラックスを有する。窒化ケイ素窓の優れた透過率のおかげで、SmartEDXは軽元素からの低エネルギーX線を検出するのに適している。

• ワークフローブートのグラフィカルユーザーインタフェース

SmartEDXは、マルチユーザー環境における使いやすさとワークフローの重複性を向上させることを目的としています。SmartSEM Touch、ZEN Core、EVOのShuttle＆Findなど、他の蔡司ワークフローが導いたソフトウェアソリューションと同様に、SmartEDXソフトウェアは学習しやすく、直感的に使用でき、SEM上で分析タスクの重複性、特に複数のオペレータがシステムを使用する環境での分析タスクの実行を保証するのに役立ちます。

• 包括的な蔡司サービスとシステムサポート
  
  SmartEDXは蔡司によって全方位的にサポートされているため、このEDSソリューションはデバイスベンダーの数を絞り込みたいお客様に最適です。すべてのインストール、予防的メンテナンス、保証、診断と修理、スペアパーツの物流、およびシステムサービス契約全体の内容は蔡司が全面的に責任を負い、あなたのSEM分析ソリューションをワンストップでサポートします。
  

EVOシリーズ

真空チャンバサイズ選択

	蔡司EVO 10	蔡司EVO 15	蔡司EVO 25
	EVO 10（BSDとEDSのオプション）を選択することは、スキャン電子顕微鏡を非常に手頃な価格で購入したいという切り口です。このEVO真空チャンバが小さくても、卓上型電子顕微鏡とは異なります。EVOへの投資により、将来より多くのスペースとポートを必要とするアプリケーションの準備ができていることが保証されます。	EVO 15はEVOファミリーの柔軟性概念を十分に示し、分析応用に優れている。EVO 15のより大きな真空チャンバを選択し、非導電性サンプルや部品のイメージングと分析の可変圧力モードを追加すると、多機能多用途の顕微鏡装置や工業品質保証実験室のソリューションがあります。	EVO 25は産業の主力ソリューションであり、より大きな部品やコンポーネントを収容するのに十分なスペースがあります。オプションの80 mm Z軸ストロークステージはEVO 25の機能をさらに拡張し、2 kgまでの重量のサンプルを処理したり、傾斜したりすることができます。さらに、大きな真空チャンバは、過酷な微量分析用途のニーズを満たすために複数の分析検出器を収容することができる。
最大サンプル高さ	100 mm	145 mm	210 mm
最大サンプル直径	230 mm	250 mm	300 mm
電動ステージストロークXYZ	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50（または80）mm
高真空モード（HV） 導電性試料の品質のイメージングと分析
可変圧力モード（VP） 非導電性で非スプレー導電層試料の高品質イメージングと分析
拡張圧力モード（EP） 水性または汚染されたサンプルは、その自然状態で画像化される

蔡司EVO応用例

インスタンスの適用

• 生産・組立企業

• エレクトロニクス業界

• 鉄鋼その他の金属

• 原材料

• ざいりょうかがく

• ライフサイエンス

• 司法鑑定

• 生産・組立企業

  

  亜鉛リン酸塩電気コーティング、高真空モードでのSE検出器を用いたイメージング

  

  自動車シートクッション発泡体、可変真空モードでBSE検出器を用いて画像化し、サンプルに導電層を塗布していない

  

  ステンレス切断面、高真空モード二次電子イメージング

• 質量分析/質量制御

• 故障解析/金相解析

• 清浄度検査

• ISO 16232及びVDA 19における1及び2の基準を満たすための粒子の形態及び化学分析

• 非金属介在物の分析