FMSR100

ネゴシエーション可能更新02/12

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概要

本体にステンレス加工を施したもの

製品詳細

電動変位台選択ガイド Feinixsシリーズ製品命名規則変位制御の基本概念

FMSR100

-本体にステンレス加工を施したもの
-10-3 Pa真空環境に適した真空ステッピングモータを採用
-高精密セックスフォークローラーベアリング、運動輸死平滑、荷重大
-ステッピング/サーボモータとボールネジは高品質弾性カップリングによって接続され、偏心干渉を大幅に低減し、騒音を低減する偏心解消性能が優れている
-MS 232インタフェースを標準装備し、MSCシリーズのモーションコントローラは自動制御を実現することができる
-ベースに標準穴ピッチの貫通穴があり、取り付け固定が容易
-お客様の要件に合わせてカスタマイズ可能

詳細仕様パラメータ

画像
製品型番	FMSR100	FMSR100V
外形寸法	217.5X116x45.5	210x116x45.5
メサ寸法（mm）	Ø100	Ø100
モーター台	鳴志42ステップ	真空42ステップ
持続トルク（N.M）	\	\
ピークトルク（N.M）	\	\
ストローク（°）	360	360
最大速度（°/s）	20	20
垂直荷重（Kg）	10	10
解像度(°)	0.0025	0.0025
最小変位量（°）	0.005	0.005
一方向繰り返し位置決め精度（°）	±0.005	±0.005
双方向繰り返し位置決め精度（°）	±0.01	±0.01
位置決め精度（°）	±0.02	±0.02
エンドホップ（um）	25	25
けいじょうジャンプ	25	25

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