複合分子ポンプメーカ

ZYFB-1200型複合分子ポンプメーカ

分類

このポンプは具体的には、

1）牽引分子ポンプガス分子が高速運動するロータに衝突して運動量を得、ポンプの出口に駆動される。

2）ターボ分子ポンプは、高速で回転する動翼と静止した固定翼とが互いに協働して抽気を実現する。このポンプは通常分子流状態で動作する。

3）複合分子ポンプタービン式と牽引式の2種類の分子ポンプを直列に組み合わせた複合型の分子真空ポンプである。

構造特性

複合式分子ポンプはターボ分子ポンプと牽引分子ポンプの直列結合であり、2種類のポンプの利点を一体化している。ポンプは広い圧力範囲（（（10−6〜1 Pa）で大きな抽気速度と高い圧縮比を有し、ポンプの出口圧力を大幅に高めた。フランスのAlcatle社が生産したガス静*承と動シールを用いた複合分子ポンプで、*油がなく、前段ポンプを使わずに大気中に直接排気することができる。

動作条件

（1）回転子の回転速度が20000 r/minに達したため、分子ポンプの起動時間が比較的に長い。

（2）ガスは分子流状態にあるため、前段ポンプを配備する必要があり、一般的に前段ポンプとしてスピンチップポンプを使用する。

ZYFB-1200型複合分子ポンプメーカ

設計のポイント

複合分子ポンプの設計において、タービン段と牽引段との間の適応と接続関係をうまく処理しなければならない。タービン段には大きな抽気面積があり、抽気速度が大きいが、牽引段溝の抽気面積は小さいため、2つの構造の結合部では、タービン翼で圧縮されたガス分子の流れ方が突然転換し、ガス分子の動きを結合部で秩序から無秩序に変化させ、逆流を増加させ、抽気能力を低下させる。したがって、設計時には、ポンプの抽気性能を向上させるために、タービン段と牽引段の切り替えに遷移段構造を加えるべきである。

複合分子ポンプの継続的な改善に伴い、その応用分野はますます広くなり、一部の抽気システムで拡散ポンプの代わりにすることができ、システムの抽気時間を短縮し、油汚染のないクリーンな真空環境を得ることができる。