AGC AGC STREAM 6000微量窒素分析器

びりょうちっそぶんせきけいN 2/ArとN 2/Heの連続分析に特化して設計され、そのN 2検出器は私たちが成功したHFADDに由来する高周波アルゴン放電検出器であり、装置は窒素分子の選択性を利用してアルゴンガスやヘリウムガス中の微量窒素を検出する。

びりょうちっそぶんせきけいの仕組み：

キャリアガスである高純アルゴンガスが高周波発振電磁場中の石英管を一定流速で流れると、管外に1500 Vの高電圧が印加され、石英管内のアルゴンガス原子が100メガヘルツの高周波電磁場発振下で運動するようになった。アルゴン原子のイオン化エネルギーは発振後の平均自由行程エネルギーよりも低いため、アルゴン原子は管内でイオン化されてイオン、電子及び中性粒子の混合ガスであるプラズマを形成し、かつアルゴン原子は励起放電を受けてアークを発生する。測定ガスが分離カラムを経て検出器に入ると、＊性ガス不純物の分子N 2、H 2、CH 4などがアーク光を吸収して粋滅するため、O 2とCO分子が励起されると増強アーク光が発生する。発生光の強度変化は被測定成分濃度に比例するので、これにより不純物定量分析を行うことができる。このような検出器は高周波アルゴン放電検出器と呼ばれる。ADD高周波アルゴン放電検出器は99.9999%級の高純アルゴン中の不純物を分析できるため、アルゴン中の窒素含有量を分析すると10 ppbに達することができる。