低圧放電法による漏れ検出器の原理及び応用分野

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Shanghai Qiyi Instrument Equipment Co., Ltd

日付：2025-05-19読み：1

低圧放電法漏れ検出器はガス放電特性に基づいて漏れを検出する装置であり、その核心原理は低気圧環境下のガス放電現象の変化を監視することによって被測定システムの密封性を判断することである。具体的な原理は次のステップに分けることができます。

鄒1、ガスイオン化と放電〓密閉キャビティに高圧電界を印加し、気圧が一定範囲に低下すると、残留ガス分子がイオン化されてグロー放電またはコロナ放電を発生し、測定可能な電流または光信号を形成する。

‌2、漏洩ガス干渉‌：測定システムに漏洩が存在する場合、外部ガスはキャビティに侵入し、内部ガスの成分または圧力を変化させ、放電特性（例えば破壊電圧、放電電流強度またはスペクトル特徴）に顕著な変化をもたらす。

‌3、信号分析と位置決め‌：センサを通じて放電パラメータの異常変化（例えば電圧変動、電流突然増加或いは特定波長光強度変化）を捕獲し、回路或いはアルゴリズム処理を結合し、漏洩位置と程度を確定する。

‌低圧放電法ドレイン検出器の主な用途次の分野に適用

鄒1、真空設備の検査鄒：半導体製造、真空めっきなどの業界のキャビティ、配管密封性検査に用い、高真空環境の安定性を確保する。

‌2、冷凍システムの漏れ検出‌：エアコン、冷蔵庫などの冷媒循環システム中の微小な漏れを検出し、冷媒流失による効率低下を避ける。

‌3、密閉容器の品質検査‌：医療、化学工業分野でガスタンク、密閉容器に欠陥がないかどうかを検査し、貯蔵の安全性を保障する。

‌4、科学研究実験モニタリング‌：高エネルギー物理、宇宙シミュレーションなどの精密実験装置に応用し、環境ガス干渉実験結果を防止する。

この方法の利点は感度が高く（10µPa・m³/sオーダーまで検出可能）、応答速度が速いが、ガス種類に対する選択性が悪く、低気圧環境下で操作する必要があり、適用シーンは一定の制限を受けている。