クリーンルーム

クリーンルームとは、空気清浄度、温度、湿度、圧力、ノイズなどのパラメータを必要に応じて制御する密閉性の高い空間を指す。クリーンルームがクリーンレベルに達するには、プロセス配置、建築平面、建築構造、建築内装、人員と材料浄化、空気清浄措置、維持管理などを含む総合的な措置が必要である。