クリーンルームの差圧制御の核心は圧力勾配によって気流方向を導き、動的風量調整と物理的隔離構造を結合し、汚染物の物理的障壁を実現することである。博泰小編は皆さんに関連知識を紹介します。

一、基本原理

1、気流方向制御

圧力差を利用して気流を高潔区から低清浄区または汚染制御区に導く。高潔純度生産区の圧力は補助区より高く、気流方向は生産区から補助区に流れ、排出システムを通じて排出される。

2、静圧差維持鄒

クリーンルームは、隣接空間との静圧差を制御することにより、一方向気流障壁を形成する。正圧清浄室は送風量が換気量と排気量より大きいことにより、外部汚染物の侵入を防止する。負圧清浄室では、排気量が送風量より大きいことにより、内部有害物質の外部放出を回避する。

二、重要な制御方法

1、送風、回風と排風のバランス

空調システムの送風量、還風口開度及び排風弁開度を調節することにより、動的に風量差をバランスさせる。

2、分級差圧の設定

同一クリーンエリアは廊下を基準とし、各部屋の圧力値の階段分布。異なる清浄等級区の隣接区域の差圧≧5 Pa。万級清浄区は十万級区域より5 Pa以上高く維持する必要があり、百級区域はもっと高い。

3、構造補助設計

緩衝室とエアブレーキ室は相互ロックドア構造を採用し、ドアを開ける時の気流干渉を低減する。負圧ガスブレーキ室は異なる清浄領域を隔離することができる。余圧弁または差圧センサは、余圧弁の開度を自動的に調整したり、新風/排風弁を連動させたりして、圧力差の変動をリアルタイムで補償する。

三、特殊シーン応用

1、湿度差異制御鄒

乾燥清浄室は、隣接する高湿領域の湿った空気の流入を避けるために、正圧を維持しなければならない。

2、負圧制御鄒

有毒ガス、高感受性薬物を発生させるクリーンルームに対して、負圧を維持して汚染物の拡散を防止する必要がある。

四、動態モニタリングと調整

差圧センサによるリアルタイムモニタリングデータを用いて、自動制御システムと結合して風弁、ファン周波数などのパラメータを調整し、設備の起動停止、環境変化による差圧変動に対応する。