ぶんしポンプ高速回転するロータを用いて気体分子に運動量を伝達し、配向速度を得させて圧縮され、排気口に駆動されて前段に引き抜かれる真空ポンプである。このポンプは具体的には、
1.牽引分子ポンプガス分子は高速運動するロータに衝突して運動量を得、ポンプの出口に駆動される。
2.ターボ分子ポンプは、高速で回転する動翼と静止した固定翼とが互いに協働して抽気を実現する。このポンプは通常分子流状態で動作する。
3.複合分子ポンプタービン式と牽引式の2種類の分子ポンプを直列に組み合わせた複合型の分子真空ポンプである。
ふくごうぶんしポンプタービン分子ポンプと牽引分子ポンプの直列結合であり、2種類のポンプの利点を一体化している。ポンプは広い圧力範囲（（（10−6〜1 Pa）で大きな抽気速度と高い圧縮比を有し、ポンプの出口圧力を大幅に高めた。複合式分子ポンプの形式は多く、構造によって分けて、主に2種類がある：1つはタービン翼とディスク牽引ポンプの直列結合である、もう1つはタービン翼とドラム式牽引ポンプの直列結合である、次のようになります。
1、タービン段主にポンプの抽気速度を高めるために用いられ、一般的に抽気速度を高めるのに有利な羽根形状を採用し、段数はl 0級以内である。牽引段は主にポンプの圧縮比を増加させ、ポンプの出口圧力を高めるために用いられる。
2、ディスク式牽引段平板円盤の平面に一定の規則に基づいて数本の型線溝を開き、それから数枚の円盤を連結して構成し、型線にはアルキメデス螺旋線、対数螺旋線、円弧線などがある。抽気時に高速回転する円盤によって気体分子を「ドラッグ」し、溝に沿って内向き外向き及び外向き内向きの往復折り返し方向に流れるようにして、抽気目的を達成する。