ターボ分子ポンプは高速で回転するロータがガス分子を搬送して運動し、超高真空を得る機械式真空ポンプであり、動翼車と静翼車を組み合わせたもので、拡散ポンプより省エネ、油蒸気汚染がなく、同時に分子流時の抽気速度が大きく、圧縮比が高い特徴を持ち、現在国内の大抽気速度の分子ポンプであり、動翼車は変断面加工を採用し、その強度増加重量が減少し、分子ポンプの性能をより信頼性が高く、安定させる。
ターボ分子ポンプの取り扱い上の注意
♦前段ポンプ動作時（前段管路がオン）と真空室が真空状態にあるときにターボ分子ポンプを停止することはできません。そうしないと、油蒸気が前段管路からポンプの清浄端に急速に逆流します。
♦分子ポンプシステムは、停止して乾燥ガスを充填する前に、まず分子ポンプ冷却水を閉鎖し、ポンプの高真空端から空気を充填しなければならない。ポンプの前段配管から空気を入れてはいけない。
♦システム前段ポンプの大きさを選択するには、ターボ分子ポンプの前段を分子流状態に維持しなければならない。
♦タービン分子ポンプを定格動作回転数未満で運転させてはならない。
♦分子ポンプ入口には、異物がポンプ内に入ってポンプロータとステータブレードを損傷しないように保護網を設置しなければならない。
ターボ分子ポンプの応用分野は、以下のものを含むがこれらに限定されない：
♦分析（質量分析分析計、電子顕微鏡など）。
♦半導体産業（電子部品、集積回路、太陽電池など）。
♦光学／ガラス工業（熱、反射防止、反射防止、光学フィルタコーティングなど。
♦コーティング技術（表面保護、装飾性コーティング、ディスプレイ、スクリーンなど）。
♦真空製錬（真空溶接、真空焼結、真空合金、真空炉など）。
♦漏れ検出技術（真空設備、車両タンク、エアバッグ、包装など）。
♦科学研究設備（核物理、融合反応研究、レーザー応用など）。
♦照明器具業界（電球生産）。