複合分子ポンプは高効率の真空ポンプであり、電子ビーム加熱の方式は高温蒸気を提供することができ、蒸気は内面を通じて反発し、高真空の効果を達成することができ、高真空環境下のガスと同体基髪、洗浄と流れはセンサテストのための理想的な設備である。複合分子ポンプは分子ポンプと拡散ポンプの特徴を結合し、高抽気速度、高限界真空、積灰が小さく、安定性が良いなどの特徴を有し、銅水素ガス気化成膜、金属蒸着、リソグラフィ、プラズマエッチング、高エネルギー物理実験、テレビ管製造などの分野に広く応用されている。
複合分子ポンプの動作原理は特殊な高温と高速度を利用して動作する。ポンプが起動すると、気化器内部の黒鉛材料が加熱され、液体または固体物質が熱を受けて気体蒸気に変換されてポンプヘッドへの伝導が開始される。ポンプヘッドは高速回転気流を形成し、気体は回転気流を通じて分子ポンプに入り、分子ポンプ内部では気体分子は高速等速熱量に誘導され、さらに衝突加速し、最終的に極空気流になる。極空気流は拡散ポンプによってさらに加速され、速度は1000 m/sを超え、大気中に排出されます。
複合分子ポンプはその高効率と安定性のために広く応用されており、利点は以下の通りである：
1、高効率。複合分子ポンプの抽気速度はドラム式分子ポンプより高く、極制動距離が短く、積灰率が低い。
2、高真空度。複合分子ポンプは高温状態で動作するため、高真空度を達成することができ、高精度部品を製造するための理想的な設備である。
3、安定性がよい。複合分子ポンプのポンプヘッドアセンブリの部品はすべて精密に加工され、潤滑され、摩擦と摩耗による振動と騒音を低減した。
要するに、複合分子ポンプは現在の高真空技術の中で広く応用されている真空ポンプの一つであり、安定、高効率、信頼性のある仕事を提供し、研究室の研究と工業製造を支援することができる。