チップの製造条件は非常に厳しく、チップ製造には何千もの工程があり、何千もの工程の累計の下で、チップの総良品率は見るにたえないものになるに違いない。だから、チップ製造の過程で、30%の時間が一つのことをしています。「お風呂」です。専門名は湿式洗浄です。

チップの「お風呂」に使うのは超純水で、簡単に言えば魚も生きられないほど純粋な純水です。水道水を超純水に変えると、30 ~ 40%程度の水が損失し、水の抵抗率は18.2 MΩ.cmに達し、超純水はチップの各生産ラインでチップに「入浴」することができる。

超純水は一般的なプロセスでは達成しにくい程度であり、前処理、逆浸透技術、超純化処理及び後段処理の4つのステップを採用し、多段ろ過、高性能イオン交換ユニット、超ろ過フィルタ、紫外線ランプ、TOC装置を除く多種の処理方法、抵抗率は18.2 MΩ.cmに達することができる。

超純水の製造工程は以下の通り：

1、前処理

砂ろ過、多媒体ろ過、軟化、塩素添加、pH調整、活性炭ろ過、脱気などが含まれる。ろ過により1〜20ミクロンの大きさの粒子を除去し、pHを軟化し調整することで逆浸透膜のスケールアップを防止し、塩素を加えるのは殺菌のためである。

2、脱塩：逆浸透、イオン交換を含む。

逆浸透は浸透現象の逆過程であり、濃溶液に圧力を加え、溶媒を濃溶液側から半透膜を通して希薄溶液側に逆浸透させ、脱塩は98%に達し、99%の細菌粒子と水に溶解した有機物を除去することができる。

イオン交換の原理は、水が陽イオン交換樹脂を通過すると、水の中の陽イオンが陽イオン交換樹脂に吸着され、樹脂上の交換可能な陽イオン、例えばHイオンが水に置換され、水の中の陰イオンと対応する無機酸、例えば超純水に結合し、この無機酸を含む水は、次に陰イオン交換樹脂層を通過すると、水の中の陰イオンが陰イオン交換樹脂に吸着される。

3、仕上げ

樹脂上のOHイオンなどの交換可能なアニオンを水に置換し、水のHイオンと結合して水にする、すなわち紫外線殺菌、終端膜濾過、限外濾過を含む超純水精製処理。紫外線殺菌は生体の核酸が紫外線光のエネルギーを吸収することで核酸自体の構造を変え、核酸機能を破壊して細菌を死滅させる。各種の膜濾過は直径が0.2ミクロンより大きい粒子を除去することができるが、有機物を除去するには逆浸透と超濾過ほど有効ではない。

ライトライド超純水設備は構造がコンパクトで、管理分布が合理的で簡単で、一体化知能システムである。チップ生産において、生産された超純水はチップの良品率を保証することができ、良質な選択である。