乾式スクリュー真空ポンプの動作原理
乾式真空ポンプ技術、特に可変ピッチ化学乾式ポンプは、多種の重要な応用の中で明らかで測定可能な優位性を持っている。正確に設計されたドライスクリュー真空ポンプは、安全で信頼性があり、コスト効率の高いソリューションによって加工ニーズを満たすことができます。
乾式スクリュー真空ポンプは、水や油を必要とせずに真空段で密封や潤滑を行うことができる。そのため、これらの乾式真空システムは廃水の発生、汚染、高い処理コストを回避した。
ドライスクリュー真空ポンプの運転
•乾式スクリュー真空ポンプは、2つの平行な非接触スクリューロータ（1）と（2）から構成され（図1）、精密歯車（3）を介して高速同期回転する。これらは逆方向に回転して、吸気口（5）で一定量のガスを捕集し、排気口（6）に送り、排気通路（7）に入る。シリンダブロック（9）の壁と互いに噛み合うネジの特殊な形状は、ガスを輸送するための圧縮室またはチャンバ（4）を形成する。【選択図】図1。
•スクリューとシリンダブロックとの間の小さな隙間、および互いに噛み合うスクリューとの間の小さな隙間は、スクリューキャビティによって発生したガスの前方への流れに比べて、吸気ポートへの逆漏れ量が小さいことを確保している。
•シール境界の長さ（すなわち、螺旋数と密間隙）は、ポンプガスの逆流を防止することができる。プラテンを備えたポンプでは、出口バルブまたはポート初めて露出すると、ガスは少し逆方向に膨張してスクリューに入ります。スクリューの作用により、捕捉されるガス量は徐々にゼロに減少するので、迅速に排出することができる。
•ガスの逆方向の流れは、主としてスクリュー輪郭の端部の「シール領域」の幅によって制御される。これらの広い領域は固定子と密接に隣接しており、ガスの逆漏れを最低。スクリューポンプの限界圧力は0.01 torr（0.01 mBar）未満であってもよい。
•可変ピッチモデルでは、ピッチが変化するにつれてガスが圧縮され、ポンプ排気前に追加の圧縮が提供されます。これにより、熱負荷がロータの全長にわたってより均一に分布する。シングルピッチモデルでは、最後の半回転で圧縮プレートまたはバルブに当接してより大きな圧縮を実現し、それによって熱の発生を排気ポートに偏向させる。乾式ポンプでは、全体的な凝縮を回避するために温度が十分に高くなければならず、また、自己燃焼と重合を回避するために十分に低くなければならない。可変ピッチポンプにおける排気ポートに向かって徐々に上昇するガス温度は、ポンプによる蒸気の凝縮を防止するのに大きく役立つ。可変ピッチスクリューポンプも単ピッチスクリューポンプよりも動力を有効に利用する。
•周囲のシース（8）で冷却する。ポンプは、直接または間接的な閉ループ冷却として構成することができる。後者には、装置の冷却水がポンプの材料に直接接触しないことを意味し、ジャケットが冷却水の品質が悪いために堆積したり腐食したりしないことを意味する多くの利点がある。
•エア・鎮ポート（10）。必要に応じて、ガスタウンは冷ポンプまたは湿式ポンプを急速に加熱し、可燃性蒸気を可燃性の範囲から排除し、ポンプから固体、特に溶媒を洗浄する間の固体の除去を助けることができる。