スライドバルブ真空ポンプ宇宙、航空、原子、石油、化学工業、製薬、電気工学、セラミックス、製錬、新材料、真空熱処理、真空めっきなどの業界に広く応用されている。
スライドバルブ真空ポンプの応用ポイント:
スプールポンプは古いポンプであるが、回転板ポンプなどと比較して、作動圧力が高く(104 Pa)、抽気量が大きく、比較的に劣悪な環境で連続的に作動でき、長持ちするなどの優れた利点があるため、真空製錬、真空乾燥、真空浸漬、真空蒸留などの業界で広く応用されている。
真空の応用範囲がますます広くなるにつれて、真空乾燥、真空浸漬、真空脱水、真空製錬などの業界ではスプールポンプによるガス抽出には大量の水蒸気が含まれている。
真空ポンプで適時に排除できないと、真空ポンプ油が汚染され、真空ポンプの抽気性能が低下する。
ポンプに気鎮弁を設置し、ポンプの極限真空の低減を認め、気鎮方法で凝縮性ガスを抽気するが、真空乾燥、脱水、スラッジ精製などの水蒸気含有量の高い抽気過程にとって、気鎮方法は理想的ではなく、一般的に以下の方法が試用できる:
a.スプールポンプと凝縮器を組み合わせて使用する。
現在、国内の多くのメーカーが採用している。
原理は凝縮器をポンプと被抽気容器の間に連結し、真空プロセス設備中の大量の水蒸気を凝縮器で水に捕捉し、それによって水蒸気が真空ポンプ中に入る数量を減らし、ポンプ油の汚染程度を下げる。
凝縮器出口バルブの流量を適切に調節し、真空ポンプ上の気鎮弁の役割を十分に発揮すれば、より良い抽気効果を得ることができる。
b.可変スプールポンプはヒートポンプである。
水の物理特性及び相図原理に基づいて、スプール式真空ポンプをヒートポンプに変更することができる。これにより、より高いポンプ室温度条件下で、大量の凝縮性水蒸気を吸引除去することができる。
その動作原理は以下の通りである:1セットの自動温度調節コントローラを用いて、ポンプの冷却水流量を自動制御することによってポンプ室の温度を制御する目的を達成する。
抽気過程において、ポンプチャンバの温度は常に水より高い飽和蒸気圧温度に制御され、被抽気中の大量の水蒸気がスムーズに排出されるようにする。
ポンプチャンバ内の温度が高いため、ポンプの長期動作によって生じる可能性のあるポンプ油の希薄化、真空度の低下、運転部品の詰まりなどの現象を避けるために、設計には高温に耐えるポンプ油、例えば(N-62またはN-68)と高温に耐える軸受を採用することができる.運転部品の隙間などを広げる。