-理想的なしんくうシステムまたは真空容器には、漏れ穴が存在せず、漏れ現象が発生しないものでなければならない。しかし、真空システムや真空容器では漏れない現象は不可能です。特に圧力が極めて低い場合、ガス漏れ現象の影響が進むにつれて、真空度が所定のプロセス要件に達しないことは、かなり一般的な問題である。このため、真空システムまたは真空容器に存在する空気漏れ部位を検出し、漏れ穴の閉塞漏れ穴を確定して空気漏れ現象を解消することは、真空技術者の重要な仕事となる。ガス漏れまたは実漏れとは、真空システム上の漏れ穴や隙間を通って、ガスが側から低圧側に流れる現象を指す。真空漏れ検出技術における一般的な基本概念は主に以下の各点がある。
①虚漏は実漏に対する物理現象である。これは大部分が材料の排気、脱着、凝集体またはシステム内のデッドスペースからのガスの流出などの原因によって真空システムまたは容器中の圧力が上昇する現象であり、真空漏れ検査作業時に虚漏れの影響を排除しなければならない。
②気密性−真空システム又は容器の壁の空気への不透過性を特徴づける性能である。
③漏れ穴-漏れ穴とは、真空器に存在する形状が不定、極めて微小な穴または間陳を指す。このような小さな穴や隙間を超えて人の真空システムや容器に入る。
④漏れ率－漏れ率すなわち漏れ速度。これは、単位時間当たりに漏れ穴や隙間を通って真空システムや容器内に人が流れるガスの量を指す。
⑤zui小漏れ検出率それはある漏れ検出方法または機器を用いて検出可能なzui小漏れ率を指す。
⑥漏れ検出感度または有効感度、すなわち漏れ検出器が*動作状態で検出できるzui漏れ率。
⑦反応時間は応答時間とも呼ばれ、漏れ検出方法の開始から(例えば漏れガスの噴射を開始する)指示方法や機器の指示値がzuiの大きい値の63%に上昇するまでに必要な時間を指す.
⑧消去時間：漏れ検出方法による停止（例えば試験漏れガスの吹き付け停止）から指示方法又は機器指示値が停止値の37%まで低下したときにクランプされる時間を指し、
⑨漏れ目詰まり現象塵埃や液体による漏れ目詰まりを指し、これらの詰まりはしばしば漏れ検出作業の押し付けが不適切であるために発生する一時的な現象を指し、漏れ検出時には空気が漏れないように見えるが、排気するとまた空気が漏れる現象を指す。