三葉ルーツ真空ポンプ技術の原理分析

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Jiangyin Elm Vacuum Equipment Co., Ltd

三葉ルーツ真空ポンプ技術の原理分析

日付：2025-04-21読み：0

三葉ルーツ真空ポンプ技術の原理分析

一、コア構造設計

鄒1、三つ葉回転子構造

ポンプ体内には一対の180°対称分布の三つ葉漸開線型ロータが配置され、葉峰と葉谷輪郭は精密加工を経て動的密封チャンバを形成した。歯車伝動により逆同期回転を実現し、ロータとポンプハウジングの間に0.1-0.8 mmの非接触隙間を保持する。

鄒2、等容圧縮機の製造

ロータ回転周期中、吸気チャンバ容積が増大して負圧吸入ガスが形成され、排気チャンバ容積が縮小してガス圧縮と排出が完了する。この過程は回転子型線によるチャンバ容積の正確な制御に依存し、ガスの指向輸送を実現する。

二、ガス輸送フロー

‌1、吸気段階‌

ロータが吸気口領域に回転すると、チャンバ容積が拡張され、ポンプチャンバ内部にガスが吸入される。

‌2、圧縮段階‌

ガスは回転子の運動に伴って動的チャンバ内に閉じ込められ、チャンバ容積が徐々に減少するため等容量圧縮効果が生じるが、伝統的な往復圧縮機の内圧縮過程はない。

鄒3、排気段階

ロータ翼峰が排気口をかすめると、圧縮ガスが排気端に押し出され、同時に排気側高圧ガス部分が閉鎖チャンバに逆流し、瞬間圧力が上昇して排出システムに移行する。

三、技術特性

‌1、三つ葉型線優勢‌

両葉構造と比較して、三つ葉ロータは回転ごとに3回の呑吐サイクルを完成し、効果的に圧力脈動幅を30%以上減少させ、運行振動と騒音を顕著に減少させた。

鄒2、無油潤滑技術

回転子間及び回転子-ポンプハウジング間の精密数値制御加工により保証され、潤滑油の介入が不要で、清浄度要求の高い製薬、電子業界に適用される。

鄒3、材料と加工技術

回転子は高強度合金鋼を用いて5軸連動デジタル制御工作機械によって成形し、表面硬化処理（例えば窒化プロセス）は耐摩耗性を向上させ、型線誤差は±5μm以内に制御する。

四、補助システムの需要

オイルシール真空ポンプ、水リングポンプなどの前段設備を配置して真空ユニットを形成し、自身の低圧縮比欠陥（通常圧縮比≦10）を克服し、10µµ10µPaの中真空範囲鄒を実現する必要がある。