過酸化水素自体が持つ酸化還元の作用により殺菌機能があり、特に嫌気性バチルスの殺菌効果が高い。過酸化水素の作用原理は、細胞膜、脂質、タンパク質、DNAを破壊することを含む、細胞を攻撃するための成分を複雑な化学反応により解離することである。「フラッシュ蒸着」により液状の過酸化水素をH 2 O 2ドライミストに変換し、この過程は常温常湿の環境下で直接効果的に行うことができ、除湿などの他の前処理を必要としない。過酸化水素乾燥霧は密閉された空間に均一に導入され、その内面は完全に過酸化水素乾燥霧に曝され、約1μmの過酸化水素膜が形成され、居候した可能性のある微生物の表面に付着し、微生物自身がコアとして形成された微小凝縮に包まれ、迅速にこの過程で殺される。

過酸化水素滅菌器には主に以下のいくつかの特徴がある：

1、直接室温条件下で消毒滅菌することができる、

2、過酸化水素の乾燥霧による消毒滅菌の周期は比較的に短く、5 ~ 7時間しかかかりませんが、蒸気消毒滅菌の周期は8 ~ 10時間かかり、エチレンオキシドガスの消毒滅菌周期は12 ~ 18時間かかります。

3、過酸化水素乾燥霧を用いた消毒滅菌は操作者に危害を与えず、環境にも汚染を与えず、その最終的な残留物は水と酸素であるため、

4、蒸気滅菌によりチャンバに大きな差圧変化が発生し、長期にわたって圧力を繰り返し受け、真空を吸引することで、設備の使用寿命を短縮することができ、過酸化水素乾燥霧滅菌を採用し、圧力、温度条件の改善により、設備の運行寿命とメンテナンス周期を延長することができる、

5、長期的に蒸気を用いた除菌滅菌であれば、湿熱されたガスはキャビティ内面のステンレス鋼の不動態化膜を破壊しやすいが、過酸化水素乾燥霧を用いた除菌ではキャビティ内面のステンレス鋼不動態化膜を損傷することは少ない。

6、移動式（キャスター付き）の過酸化水素乾燥霧（VHP）発生器を採用し、複数台の設備をセットで滅菌でき、設備の初投資費用を下げることができる、

7、フィルターHEPAの浸透性が良い（ガラス繊維）、

8、装置、電気製品、クリーンルームの壁など、他の物品に影響を与えません。