inficon真空計は、高真空度領域内のガス圧（空気密度が大気圧より低い範囲）を測定するための装置である。その動作原理は、ガス分子と表面との衝突、およびガス分子の真空条件下での運動特性に基づいている。
その種類は多く、これらの機器は異なる原理で動作し、例えば熱電子と陰極陰イオンの流れ、大流量吸収、容積圧力測定と振動方式などがある。異なる真空計には異なる特徴と長所と短所があり、実際の必要に応じて適切な機器を選択することができる。
inficon真空計の基本原理：
2つの電極を含み、一方の電極は陽極（陰極線管または電子銃）であり、他方の電極は陰極（受信機）である。高圧電源を加えると、アノードは電子ビームを放出し、真空領域を通過するとガス分子と衝突し、イオン化させて電子イオン対を生成する。これらのイオン対は電界の駆動下で動き、陰極表面に電流を発生する。
異なる電極構造と回路設計を採用し、真空計は異なる測定範囲と感度を実現することができる。ここで、熱陰極真空計は熱電子放出の原理を利用して、真空領域で電子を発生し、電子とガス分子の衝突を通じてガス圧力を計算する、一方、冷陰極真空計は陰極表面のガス吸着と吸引により気圧を測定し、その感度は熱陰極真空計より高く、より広い測定範囲に適している。
要するに、inficon真空計は多くの応用の中で広く応用されており、例えば太陽電池、マイクロエレクトロニクス分野の材料研究、半導体加工工場と航空製造工場などがある。異なる真空計は異なる測定範囲、体積、感度などの特徴を持っている。そのため、真空計時を選択し、使用するには、適切な機器を選択するために、実際の状況に基づいて評価する必要があります。